空圧・油圧機器

●電動コードレスタイプで300mmウェハーをピックアップできます。●ウェハーやディスクメディア等のハンドリングに適しています。●クリーンルーム・クラス1対応の排気フィルターを内蔵（リア排気式真空ポンプ）しています。●操作スイッチはロック機構付きです。●サイズ（mm）：21×30×225　※ウェハーチップ除く●到達真空度：約-50kPa●材質：本体/アルミニウム、ウェハーチップ/アルミニウム（表面：硬質アルマイト加工）●電源：AC100V　50/60Hz●バッテリー：9.6Vニッケル水素（NiMH）●重量：約170g（ウェハーチップ除く）●付属品：充電スタンド・ウェハーチップ（VWT-5R-AR）・ACアダプター●バッテリー一体タイプ

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2500100273062

●材質：シリコン●型番：吸着パッドφ4mm（10個入）

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2500100329578

●ペン部分、吸着パッドやエアーホースにも静電気対策材料を使用しております。●電源：AC100V（50/60Hz）　5W●電源コード長／2.0m（3Pプラグ）●ポンプ：ダイヤフラムポンプ●最大到達真空度：約37.3kPa（-280mmHg）●最大吸着重量：A1164／0.6g、A1165／2g、A1166／20g、A1167／120g●外寸法：ステーション／132×170×83mm、ペン／123×φ10mm、エアホース／1100×φ6mm●重量：ステーション／約1.65kg、ペン／約25g●型番：392-1●品名：本体●付属品：ベントノズル：0.4・1.1mm×各1個、パッド：φ3・7mm×各1個

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2500100329585

●サイズ：130×29×22mm●重量：43g（電池除く）●電源：単4乾電池×2本（テスト用付属）●型番：394●品名：本体●付属品：ベントノズル（A1165）、φ5mm（A1312）パッド、φ10mm（A1311）パッド、収納ケース●※ベントノズルA1164（7-150-02）・A1165（9-5007-11）、パッドA1166（9-5007-12）・A1167（9-5007-13）も使用可能です。

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2500100555236

●材質：真鍮、ノズル／ステンレス（SUS304）●型番：A1198●品名：ベントノズル/0.26mm

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2500100555243

●材質：真鍮、ノズル／ステンレス（SUS304）●型番：A1486●品名：ストレートノズルストッパー付き

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2500100555250

●16本の先端チップを搭載できる滑り止め付きのスタンドです。●型番：VTH-16●先端チップスタンド

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2500100621269

●材質：先端部／アルミニウム（硬質アルマイト加工）、チューブ／ステンレス（テフロンコート）●チューブ全長：76mm●耐熱温度：250℃●適合ウェハー：200mm用●先端サイズ（mm）：32×64●重量（g）：18●硬質アルマイト加工

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2500100643506

●材質：先端部／アルミニウム（硬質アルマイト加工）、チューブ／ステンレス（テフロンコート）●チューブ全長：76mm●耐熱温度：250℃●適合ウェハー：100mm用●先端サイズ（mm）：19×27●重量（g）：8●硬質アルマイト加工

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2500100644831

●材質：パッド／導電性シリコン、ルアーロック／亜鉛、チューブ／ステンレス（SUS304）●使用温度範囲：-55～230℃●適応タイプ：ストレートチップタイプ●入数：5本●型番：V8904-SS-5●パッド直径（mm）：φ 3.18

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2500100668073

●流量調整がスムーズに行えます。●用具不要のワンタッチ着脱です。●チューブへの傷がつきにくいロック構造です。●ボディが金属製で衝撃などに強い構造になっています。●各種エア配管●接続口径：R1/4●適合チューブ外径D(mm)：10●使用流体：圧縮空気●メーターインタイプ●本体：真鍮●シール材：ニトリルゴム

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2500200108288

●流量調整がスムーズに行えます。●用具不要のワンタッチ着脱です。●チューブへの傷がつきにくいロック構造です。●ボディが金属製で衝撃などに強い構造になっています。●各種エア配管●接続口径：R3/8●適合チューブ外径D(mm)：10●使用流体：圧縮空気●メーターインタイプ●本体：真鍮●シール材：ニトリルゴム

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2500200108882

●本体が金属のため、耐スパッタ性があります。●接続口径：R1/2●適合チューブ外径D(mm)：10●使用流体：空気●使用温度範囲：-5～60℃(凍結なきこと)●使用圧力：0.05～0.7MPa●メーターアウトタイプ●樹脂部品:ポリアセタール●金属部品:黄銅、リン青銅●シールゴム:ニトリルゴム(NBR)

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2500200109148

●R(PT)-G(PF)（メスシート）のオスコネクターです。●油圧ホース及び油圧機器との接続用。●ねじ寸法T1：R3/8●ねじ寸法T2：G3/8●A寸法(mm)：38●X寸法(mm)：19●タイプ：メスシート●使用温度範囲:-40～100℃●スチール

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2500200110410

●流量特性が優れています。特に低流量域での微調整が容易にできます。●チューブ取り出し口が自由に回転するため360°のチューブ取り出し方向が得られます。●接続口径：R1/4●適合チューブ外径D(mm)：10●使用流体：空気●使用温度範囲：-5～60℃(凍結なき事)●使用圧力：0.05～0.7MPa●メーターアウトタイプ●樹脂部品:ポリアセタール●金属部品:黄銅●シールゴム:ニトリルゴム(NBR)

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2500200148901

●流量特性が優れています。特に低流量域での微調整が容易にできます。●チューブ取り出し口が自由に回転するため360°のチューブ取り出し方向が得られます。●接続口径：R3/8●適合チューブ外径D(mm)：10●使用流体：空気●使用温度範囲：-5～60℃(凍結なき事)●使用圧力：0.05～0.7MPa●メーターアウトタイプ●樹脂部品:ポリアセタール●金属部品:黄銅●シールゴム:ニトリルゴム(NBR)

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2500200148956

●流量特性が優れています。特に低流量域での微調整が容易にできます。●チューブ取り出し口が自由に回転するため360°のチューブ取り出し方向が得られます。●接続口径：R1/2●適合チューブ外径D(mm)：10●使用流体：空気●使用温度範囲：-5～60℃(凍結なき事)●使用圧力：0.05～0.7MPa●メーターアウトタイプ●樹脂部品:ポリアセタール●金属部品:黄銅●シールゴム:ニトリルゴム(NBR)

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2500200148987

●横浜/1004,BS/F, 住友/4　相当です。●387TC/487TCシリーズ 、431シリーズに。●メスシート用。●ねじサイズ：3/4●呼び径：3/4●A寸法(mm)：78●B寸法(mm)：41●ダッシュ呼称：12●呼び径A：20●H寸法(mm)：36●W寸法(mm)：36●JIS対応金具　ネジ：PF (G)ねじ●スチール / クロムフリーめっき

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2500200289345

●横浜/1004,BS/F, 住友/4　相当です。●387TC/487TCシリーズ 、431シリーズに。●メスシート用。●ねじサイズ：1●呼び径：1●A寸法(mm)：90●B寸法(mm)：49●ダッシュ呼称：16●呼び径A：25●H寸法(mm)：41●W寸法(mm)：41●JIS対応金具　ネジ：PF (G)ねじ●スチール / クロムフリーめっき

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2500200289352

●横浜/1004、BS/F、住友/4相当です。●387TC/487TCシリーズ 、431シリーズに。●メスシート用。●ねじサイズ：1/4●呼び径：1/4●A寸法(mm)：48●B寸法(mm)：29●ダッシュ呼称：4●呼び径A：8●H寸法(mm)：19●W寸法(mm)：19●JIS対応金具　ネジ：PF (G)ねじ●スチール / クロムフリーめっき

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2500200289369

●横浜/1004,BS/F, 住友/4　相当です。●387TC/487TCシリーズ 、431シリーズに。●メスシート用。●ねじサイズ：3/8●呼び径：3/8●A寸法(mm)：59●B寸法(mm)：33●ダッシュ呼称：6●呼び径A：10●H寸法(mm)：22●W寸法(mm)：22●JIS対応金具　ネジ：PF (G)ねじ●スチール / クロムフリーめっき

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2500200289376

●横浜/1004,BS/F, 住友/4　相当です。●387TC/487TCシリーズ 、431シリーズに。●メスシート用。●ねじサイズ：1/2●呼び径：1/2●A寸法(mm)：68●B寸法(mm)：36●ダッシュ呼称：8●呼び径A：15●H寸法(mm)：27●W寸法(mm)：27●JIS対応金具　ネジ：PF (G)ねじ●スチール / クロムフリーめっき

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2500200289383

●横浜/1005,BS/C, 住友/5　相当です。●387TC/487TCシリーズ 、431シリーズに。●オスシート用。●ねじサイズ：3/4●呼び径：3/4●A寸法(mm)：82●B寸法(mm)：46●ダッシュ呼称：12●呼び径A：20●H寸法(mm)：36●W寸法(mm)：36●JIS対応金具　ネジ：PF (G)ねじ●スチール / クロムフリーめっき

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2500200289536

●横浜/1005,BS/C, 住友/5　相当です。●387TC/487TCシリーズ 、431シリーズに。●オスシート用。●ねじサイズ：1●呼び径：1●A寸法(mm)：95●B寸法(mm)：54●ダッシュ呼称：16●呼び径A：25●H寸法(mm)：41●W寸法(mm)：41●JIS対応金具　ネジ：PF (G)ねじ●スチール / クロムフリーめっき

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2500200289543

●横浜/1005,BS/C, 住友/5　相当です。●387TC/487TCシリーズ 、431シリーズに。●オスシート用。●ねじサイズ：1/4●呼び径：1/4●A寸法(mm)：53●B寸法(mm)：34●ダッシュ呼称：4●呼び径A：8●H寸法(mm)：19●W寸法(mm)：19●JIS対応金具　ネジ：PF (G)ねじ●スチール / クロムフリーめっき

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2500200289550

●横浜/1005,BS/C, 住友/5　相当です。●387TC/487TCシリーズ 、431シリーズに。●オスシート用。●ねじサイズ：3/8●呼び径：3/8●A寸法(mm)：62●B寸法(mm)：36●ダッシュ呼称：6●呼び径A：10●H寸法(mm)：22●W寸法(mm)：22●JIS対応金具　ネジ：PF (G)ねじ●スチール / クロムフリーめっき

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2500200289567

●横浜/1005,BS/C, 住友/5　相当です。●387TC/487TCシリーズ 、431シリーズに。●オスシート用。●ねじサイズ：1/2●呼び径：1/2●A寸法(mm)：71●B寸法(mm)：40●ダッシュ呼称：8●呼び径A：15●H寸法(mm)：27●W寸法(mm)：27●JIS対応金具　ネジ：PF (G)ねじ●スチール / クロムフリーめっき

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2500200289574

●油圧回路途中に使用するストップ弁です。●圧力計が損傷したときなど装置全体を止めることなく、圧力計を取り換えることができます。●最高使用圧力(MPa)：21●最大流量(L/min)：25●取付タイプ：ねじ●呼び径：Rc3/8●呼径：Rc3/8

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2500201842259

●圧力バランスをとった構造のため、高圧時でもハンドル操作が容易にできます。●コンパクト設計のため、取り付けスペースが小さくできます。●流量の微調整が容易にできます。●タイプ：チェック弁付●呼び径：Rc3/8●取付タイプ：ねじ●クラッキング圧力(MPa)：0.2●最大流量(L/min)：30●HDFTC-T03、HDFTC-T06はチェック弁付

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2500201842761

●圧力バランスをとった構造のため、高圧時でもハンドル操作が容易にできます。●コンパクト設計のため、取り付けスペースが小さくできます。●流量の微調整が容易にできます。●タイプ：チェック弁付●呼び径：Rc3/4●取付タイプ：ねじ●クラッキング圧力(MPa)：0.2●最大流量(L/min)：75●HDFTC-T03、HDFTC-T06はチェック弁付

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2500201842778

●圧力バランスをとった構造のため、高圧時でもハンドル操作が容易にできます。●コンパクト設計のため、取り付けスペースが小さくできます。●流量の微調整が容易にできます。●タイプ：チェック弁なし●呼び径：Rc3/8●取付タイプ：ねじ●クラッキング圧力(MPa)：0.2●最大流量(L/min)：30●HDFTC-T03、HDFTC-T06はチェック弁付

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2500201842785

●圧力バランスをとった構造のため、高圧時でもハンドル操作が容易にできます。●コンパクト設計のため、取り付けスペースが小さくできます。●流量の微調整が容易にできます。●タイプ：チェック弁なし●呼び径：Rc3/4●取付タイプ：ねじ●クラッキング圧力(MPa)：0.2●最大流量(L/min)：75●HDFTC-T03、HDFTC-T06はチェック弁付

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2500201842792

●ラインに軸線方向を組み込み、クラッキング圧力に達するとチェック弁を押し開き、一方向のみに油を流し、逆方向の流れは阻止します。●最高使用圧力(MPa)：20.5●最大流量(L/min)：30●取付タイプ：ねじ接続形●呼び径：Rc3/8●クラッキング圧力(MPa)：0.05●適合流体：石油系作動油、水・グリコール系作動油

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2500201843195

●ラインに軸線方向を組み込み、クラッキング圧力に達するとチェック弁を押し開き、一方向のみに油を流し、逆方向の流れは阻止します。●最高使用圧力(MPa)：20.5●最大流量(L/min)：75●取付タイプ：ねじ接続形●呼び径：Rc3/4●クラッキング圧力(MPa)：0.05●適合流体：石油系作動油、水・グリコール系作動油

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2500201843201

●ラインに軸線方向を組み込み、クラッキング圧力に達するとチェック弁を押し開き、一方向のみに油を流し、逆方向の流れは阻止します。●最高使用圧力(MPa)：20.5●最大流量(L/min)：190●取付タイプ：ねじ接続形●呼び径：Rc11/4●クラッキング圧力(MPa)：0.05●適合流体：石油系作動油、水・グリコール系作動油

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2500201843218

●広範囲の流量域で安定した圧力制御を行い、安全弁としても働きます。●ベントポートにリモートコントロール用リリーフ弁を接続すれば、遠隔操作で主回路圧力を制御することが可能です。●ベントポートを使用し、アンロード弁としての機能をもたせることができます。●接続口径：Rc3/8●圧力調整範囲(MPa)：0.5～7●最大流量(L/min)：30●取付タイプ：ねじ

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2500201844758

●広範囲の流量域で安定した圧力制御を行い、安全弁としても働きます。●ベントポートにリモートコントロール用リリーフ弁を接続すれば、遠隔操作で主回路圧力を制御することが可能です。●ベントポートを使用し、アンロード弁としての機能をもたせることができます。●接続口径：Rc3/8●圧力調整範囲(MPa)：3.5～21●最大流量(L/min)：30●取付タイプ：ねじ

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2500201844765

●呼び径：1/4●取付タイプ：ガスケット●接続口径：Rc3/8

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2500201961257

●呼び径：1/4●取付タイプ：ガスケット●接続口径：Rc1/2

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2500201961264

●呼び径：3/8●取付タイプ：ガスケット●接続口径：Rc3/8

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2500201961288

●圧力・温度補償付のため、負荷圧力および油温が変化しても、設定した流量は一定に保たれます。●流量調整ハンドルが4回転しますので微調整、再設定が容易にできます。●微少流量から大流量まで制御できます。●流量調整ハンドルロック用キー、ジャンピング防止機構等のオプションを用意しています。●タイプ：チェック弁付●呼び径：1/4●取付タイプ：ガスケット●流量調整範囲(L/min)：0.03～30●最高使用圧力：21MPa

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2500201962094

●圧力・温度補償付のため、負荷圧力および油温が変化しても、設定した流量は一定に保たれます。●流量調整ハンドルが4回転しますので微調整、再設定が容易にできます。●微少流量から大流量まで制御できます。●流量調整ハンドルロック用キー、ジャンピング防止機構等のオプションを用意しています。●タイプ：チェック弁付●呼び径：3/8●取付タイプ：ガスケット●流量調整範囲(L/min)：0.08～105●最高使用圧力：21MPa

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2500201962100

●圧力・温度補償付のため、負荷圧力および油温が変化しても、設定した流量は一定に保たれます。●流量調整ハンドルが4回転しますので微調整、再設定が容易にできます。●微少流量から大流量まで制御できます。●流量調整ハンドルロック用キー、ジャンピング防止機構等のオプションを用意しています。●タイプ：チェック弁なし●呼び径：1/4●取付タイプ：ガスケット●流量調整範囲(L/min)：0.03～30●最高使用圧力：21MPa

商品コード：

2500201962117

●圧力・温度補償付のため、負荷圧力および油温が変化しても、設定した流量は一定に保たれます。●流量調整ハンドルが4回転しますので微調整、再設定が容易にできます。●微少流量から大流量まで制御できます。●流量調整ハンドルロック用キー、ジャンピング防止機構等のオプションを用意しています。●タイプ：チェック弁なし●呼び径：3/8●取付タイプ：ガスケット●流量調整範囲(L/min)：0.08～105●最高使用圧力：21MPa

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2500201962124

●リリーフ弁、減圧弁などのパイロット作動形圧力制御弁や可変容量形ピストンポンプのパイロット弁として、遠隔操作を行う場合に使用します。●形状：ばねバランス形●取付タイプ：ガスケット●電源(V)：DC24V●圧力調整範囲(MPa)：～7.0●呼び径：1/4●接続口径：Rc1/4●最大流量：1L/min●電源：DC24V

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2500201980036

●リリーフ弁、減圧弁などのパイロット作動形圧力制御弁や可変容量形ピストンポンプのパイロット弁として、遠隔操作を行う場合に使用します。●形状：ばねバランス形●取付タイプ：ガスケット●電源(V)：DC24V●圧力調整範囲(MPa)：～16.0●呼び径：1/4●接続口径：Rc1/4●最大流量：1L/min●電源：DC24V

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2500201980050

●リリーフ弁、減圧弁などのパイロット作動形圧力制御弁や可変容量形ピストンポンプのパイロット弁として、遠隔操作を行う場合に使用します。●形状：ばねバランス形●取付タイプ：ガスケット●電源(V)：DC24V●圧力調整範囲(MPa)：～25.0●呼び径：1/4●接続口径：Rc1/4●最大流量：1L/min

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2500201980074

●リリーフ弁、減圧弁などのパイロット作動形圧力制御弁のベントポートに接続して、遠隔操作を行う場合に使用します。●リモートコントロール用。●接続口径：Rc1/4●圧力調整範囲(MPa)：3.5～21●最大流量(L/min)：1.2●取付タイプ：ねじ

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2500201980111

●金属本体と樹脂本体が回転し、チューブの取り出し角度が変えられます。●メーターイン制御(記号:B)は、継手側から入ったエアーを制御し、ネジ側から入ったエアーは制御せずに継手側から出します。●接続口径：R1/4●適合チューブ外径D(mm)：10●使用圧力(MPa)：0.1～0.9●使用流体：空気●流体温度(℃)：0～60(凍結なきこと)●使用温度範囲：0～60℃(凍結なきこと)●使用圧力：0.1～0.9MPa●メーターインタイプ●逆止弁作動圧力：0.05MPa●金属部品:黄銅+無電解ニッケルメッキ●樹脂部品:ポリブチレンテレフタレート(PBT)●シールゴム:ニトリルゴム(NBR)●ダイヤフラム:HNBR

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2500201981385

●金属本体と樹脂本体が回転し、チューブの取り出し角度が変えられます。●メーターイン制御(記号:B)は、継手側から入ったエアーを制御し、ネジ側から入ったエアーは制御せずに継手側から出します。●接続口径：R3/8●適合チューブ外径D(mm)：10●使用圧力(MPa)：0.1～0.9●使用流体：空気●流体温度(℃)：0～60(凍結なきこと)●使用温度範囲：0～60℃(凍結なきこと)●使用圧力：0.1～0.9MPa●メーターインタイプ●逆止弁作動圧力：0.05MPa●金属部品:黄銅+無電解ニッケルメッキ●樹脂部品:ポリブチレンテレフタレート(PBT)●シールゴム:ニトリルゴム(NBR)●ダイヤフラム:HNBR

商品コード：

2500201981408