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●低汚染を追求した材質で製造されています。●トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。●パッキン付きですので、気密性に優れています。●サイズ（mm）：339×339×43●適応ウェハー径（mm）：φ300（12″）●材質：カバー・ケース／PC（ポリカーボネート）、クッション・ガスケット／エラストマー●セット内容：本体・カバー・スプリング×各1枚●こちらの商品は事業者様向け商品です。
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