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●ノズルフラッパによるパイロット圧力制御方式を採用しています。●設定圧力範囲内で高精度・高安定な精密圧力制御が可能です。●特に微圧・低圧域の制御に優れた精密レギュレータです。●設定圧力(MPa):0.003~0.2●使用圧力(MPa):1●処理空気流量([[M3]]/min):0.4●接続口径:Rc1/4●全長(mm):99●全幅(mm):42●使用流体:圧縮清浄空気●流体温度(℃):-5~60(凍結なきこと)●最高使用圧力(MPa):1●流体温度:-5~60℃(凍結なきこと)●感度:フルスパンの0.1%以内●繰返し性:フルスパンの±0.5%以内●流体通路部:ノングリス仕様

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