真空ポンプ

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●内径φ9×外径φ24適用ホース口：φ11、φ12●吸気口径：PT1/4×L20オス●真鍮＋メッキ

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2500203974927

●真空ポンプ油の逆流防止用 (逆流防止機構未対応機種用)オプション部品です。●適合機種：G-5DA、G-10DA、G-20DA、G-25SA、G-50DA●M20

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2500204057483

●DTC-41/DTC-41K用の排気弁Ａです。●適合機種：DTC-41/DTC-41K

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2500204402771

●DTC-41/DTC-41K用の排気弁Ｂです。●適合機種：DTC-41/DTC-41K

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2500204402788

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DA-15D、DA-30S、DA-30D、DA-60S、DA-41D、DA-81SDA-60D、DA-120S、DAP-15、DAP-30、DAU-20、DTU-20、DTC-22、DTC-41、DTC-60●M4

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2500204497142

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DAT-50D、DAT-100S、DA-121D、DA-241S、DAL-181D、DAL-361S、DTC-120、GLD-040、GLD-051、GLS-051、GCD-051X●M5

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2500204497159

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DOP-40D、DOP-80S、DOP-80SP●M5

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2500204497166

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DAT-50D、DAT-100S、DA-121D、DA-241S、DAL-181D、DAL-361S、DTC-120、GHD-101、GLD-040、GLD-051、GLS-051、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA、GLD-202BB、GLD-280A、GCD-051X、GCD-136X、GCD-201X●M5

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2500204497210

●ステンレス製の本体に特殊なフィルターを内蔵した吸気フィルターです。●真空配管内への油の逆拡散を防止します。●油の逆拡散防止用●取付方法：IN・OUT共KF-25●適合機種200L/min以下●取付はKF-25クランプが必要です。●密閉式のため、フィルターの交換はできません。●フォアライントラップ取付けにより、真空ポンプの排気速度・到達圧力が低下します。

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2500204579053

●G-5DA、G-10DA、G-20DA、G-25SA、G-50DA、G-50SA用オイルレベルゲージです。●適合機種：G-5DA、G-10DA、G-20DA、G-25SA、G-50DA、G-50SA

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2500204579343

●G-20DA、G-25SA、G-50DA、G-50SA、GLS-051、GLD-040、GLD-051用オイルシールです。●適合機種：G-20DA、G-25SA、G-50DA、G-50SA、GLS-051、GLD-040、GLD-051●HTC-11-25-7●NBR

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2500204579350

●本製品は本体はステンレス製でフィルターエレメントはグラスウールを使用した特殊なオイルミストセパレーターです。●耐食型油回転真空ポンプGCDシリーズの排気口に取付けることによるオイルミストを除去し、清浄な排気を行うことができます。●オイルミストの除去●適合機種：GCD-051X●取付方法：IN・OUT共KF-25●ケミカルタイプ、インライン型(接続口NW-25) GCD-051X用 ※取付にはフイックカップリングクランプ(KF-25)が別途必要です。●取付はKF-25クランプが必要です。●密閉型構造のため、フィルターの交換はできません。

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2500204579541

●本製品は本体はステンレス製でフィルターエレメントはグラスウールを使用した特殊なオイルミストセパレーターです。●耐食型油回転真空ポンプGCDシリーズの排気口に取付けることによるオイルミストを除去し、清浄な排気を行うことができます。●オイルミストの除去●適合機種：GCD-136X、GCD-201X●取付方法：IN・OUT共KF-25●ケミカルタイプ、インライン型(接続口NW-25) GCD-136X・201X用 ※取付にはフイックカップリングクランプ(KF-25)が別途必要です。●取付はKF-25クランプが必要です。●密閉型構造のため、フィルターの交換はできません。

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2500204579558

●配管接続型のオイルミストトラップです。●オイルミストの除去●適合機種：G-100D、G-100S●取付方法：ネジ込み●適合機種100L/min以下●エレメント(フィルター)のみの交換も可能です。

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2500204579565

●OMT-050A専用●品名：OMT050A ELEMENT●外径(mm)：70●全高(mm)：90●全長(mm)：40●OMT-050A オイルミストトラップ用の交換エレメントです。

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2500204579572

●油回転真空ポンプの性能を最大限に引き出す専用オイルです。●ポンプ油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。●寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。●潤滑、冷却、シールを目的とした油回転真空ポンプ専用オイル。●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお勧めします。●適合機種：GHD●容量：1L缶●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお薦めします。

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2500204625101

●油回転真空ポンプの性能を最大限に引き出す専用オイルです。●ポンプ油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。●寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。●潤滑、冷却、シールを目的とした油回転真空ポンプ専用オイル。●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお勧めします。●適合機種：GHD●容量：4L缶●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお薦めします。

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2500204630044

●電池不要でどんな場所でも作業ができます。●軽量、コンパクトで持ち運びが簡単です。●運転時間が従来比約3倍のロングライフ設計です。●ルームエアコンの新規据付作業(真空引き)に。●幅(mm)：120●奥行(mm)：220●高さ(mm)：165●電源(V)：18Vor14.4V(リチウムイオン電池)●真空到達度：135ミクロン●ローター方式：シングルステージ●排気量：25.8L/min(18V5.0Ah電池使用時)●連続運転時間：100分以上(18V5.0Ah新品電池パックフル充電時)●軽量、コンパクトで持ち運び簡単●本体●専用アルミ収納ケース●変換アダプター5/16メス×1/4オス●専用真空ポンプオイル●リチウムイオン電池パック、充電器は付属されておりません。

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2500204780596

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです｡●接ガス部には油､水などは使用していないドライ真空ポンプです｡●サーマルプロテクタを内蔵し､安全面も配慮しました｡●シンプル構造でメンテナンスも容易です｡●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。

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2500205429814

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです｡●接ガス部には油､水などは使用していないドライ真空ポンプです｡●サーマルプロテクタを内蔵し､安全面も配慮しました｡●シンプル構造でメンテナンスも容易です｡●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。

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2500205429869

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです｡●接ガス部には油､水などは使用していないドライ真空ポンプです｡●サーマルプロテクタを内蔵し､安全面も配慮しました｡●シンプル構造でメンテナンスも容易です｡●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。

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2500205429876

●参考寿命:6000~8000h●適用機種:DA-30D/DA-60S●吸排気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●ULVAC ダイアフラム型ドライ真空ポンプ用部品●NBR

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2500205429913

●DAT-50D/100S用のダイアフラムです｡●吸排気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●適合機種:DAT-50D/DAT-100S●参考寿命:6000~8000h●部品名:ダイアフラム●NBR

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2500205430209

●DAT-50D/100S用のポンプヘッドガスケットです｡●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種:DAT-50D/DAT-100S●ULVAC ダイアフラム型ドライ真空ポンプ用部品●参考寿命:6000~8000h●部品名:ヘッドガスケット●NBR

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2500205430216

●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです｡●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより､通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています｡●広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ●クライオポンプ排気系のバックポンプ●メカニカルブースターポンプのバックポンプ●ロードロック室排気●吸着搬送、ハンドリング●レーザーガス循環・排気用●真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置

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2500205430223

●DA-41D他｡●ダイアフラムです｡●適合機種:DA-41D/DA-41DK/DA-81S/DA-81SK/DTC-41/DTC-41K●PTFE

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2500205433835

●DAP-15用ダイアフラムです｡●適合機種:DAP-15●CR

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2500205433842

●DTC-120用ダイアフラムです｡●適合機種:DTC-120●PTFE

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2500205433859

●DTC-60用ダイアフラムです｡●適合機種:DTC-60●PTFE

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2500205433866

●GLS-051/GLD-051/GCD-051X用のベーンスプリングです｡●適合機種:GLS-051/GLD-051/GCD-051X●SWP-A

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2500205827443

●ロータリーポンプのオイルミストを捕捉します。●DOP試験の結果が99.999％という極めて高効率なだけでなく、アジ化物に耐性があります。●本体下側は半透明なため、オイルレベルをモニターできます。●独自の脱臭エレメントが付属されているため、オイルミストの臭気が中和されます。●ロータリーポンプの油煙の捕集●適合機種：A65201904、A65201905、A65301904、A65301905、A65401904、A65401905適合機種：RV3、RV5、RV8

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2500200941267

●ロータリーポンプのオイルミストを捕捉します。●DOP試験の結果が99.999％という極めて高効率なだけでなく、アジ化物に耐性があります。●本体下側は半透明なため、オイルレベルをモニターできます。●独自の脱臭エレメントが付属されているため、オイルミストの臭気が中和されます。●ロータリーポンプの油煙の捕集●適合機種：A65501904、A65501905、A36310940、A36315904適合機種：RV12、E2M18

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2500200941274

●ロータリーポンプのオイルミストを捕捉します。●DOP試験の結果が99.999％という極めて高効率なだけでなく、アジ化物に耐性があります。●本体下側は半透明なため、オイルレベルをモニターできます。●独自の脱臭エレメントが付属されているため、オイルミストの臭気が中和されます。●ロータリーポンプの油煙の捕集●適合機種：A37315904、A37333934適合機種：E2M28

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2500200941281

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/144●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相100●全幅(mm)：162●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●寸法(mm)：162×358×238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201447553

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/144●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相200●全幅(mm)：162●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201447560

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/145●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：16●電源(V)：単相100●全幅(mm)：193.5●全長(mm)：411●全高(mm)：285●寸法(mm)：193.5×411×285●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●「DA-121D」「DA-241S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。

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2500201447577

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-121D●ダイアフラム×2、バルブA×3、バルブ押えA×2、バルブC×1、排気フィルタ×1、Oリング(P-48)×4、Oリング(P-18)×2、Oリング(N-15)×2、吸気フィルタ×1、バルブ押えB×2

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2500201447584

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：12/15●到達圧力(Pa)：6.65×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：132●全長(mm)：203●全高(mm)：182.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポンプ寿命を縮めます。

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2500201447669

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-15D、DA-30S●ダイアフラム×2、バルブ×2、フィルタ×4、テフロンライナー×2、Oリング(P-30)×4

商品コード：

2500201447676

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：20/24●到達圧力(Pa)：5.33×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：118●全長(mm)：242●全高(mm)：178.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201447836

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-20D、DA-40S●ダイアフラム×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×2、ポンプヘッドカバーガスケット×2

商品コード：

2500201447843

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：240/260●到達圧力(Pa)：16.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：16●電源(V)：単相100●全幅(mm)：207●全長(mm)：411●全高(mm)：285●寸法(mm)：207×411×285●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●高速高圧用●バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447911

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-241S●ダイアフラム×2、バルブA×2、バルブ押えA×2、バルブC×2、排気フィルタ×1、Oリング(P-48)×4、Oリング(P-18)×2、Oリング(N-15)×4、吸気フィルタ×1、バルブ押えB×2

商品コード：

2500201447928

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：30/36●到達圧力(Pa)：6.70×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：212●全長(mm)：278●全高(mm)：224.5●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448055

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-30D、DA-60S●ダイアフラム×2、ヘッドガスケット×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×4

商品コード：

2500201448062

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：24/30●到達圧力(Pa)：26.6×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：132●全長(mm)：203●全高(mm)：182.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポンプ寿命を縮めます。

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2500201448079

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：19.9×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：128●全長(mm)：242●全高(mm)：178.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448345

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：157●全長(mm)：336.5●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：3.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ9×I.D.φ6(G1/4)●最大寸法(mm)：157(W)×336.5(L)×217(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす

商品コード：

2500201448369

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-41D、DA-41DK●ダイアフラム×2、バルブA×3、バルブB×1、バルブ押えA×2、バルブ押えB×1、吸排気フィルタ×2、Oリング(S-28)×6、Oリング(P-10A)×2、Oリング(S-4)×2

商品コード：

2500201448376

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：140●全長(mm)：288●全高(mm)：202●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：13.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ12×I.D.φ8(G1/4)●最大寸法(mm)：140(W)×288(L)×202(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448383