真空ポンプ

●真空ポンプの排気口径変更用の排気管オプション部品です｡●適合機種:G-101D､G-101S､GHD-101A､GLD-137AA､GLD-137CC､GLD-202AA､GLD-202BB､GCD-136X､GCD-201X●材質:●φ27●真鍮●メッキ

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2500205455486

●GLS-051/GLD-051/GCD-051X用のベーンスプリングです｡●適合機種:GLS-051/GLD-051/GCD-051X●SWP-A

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2500205827443

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DA-15D、DA-30S、DA-30D、DA-60S、DA-41D、DA-81SDA-60D、DA-120S、DAP-15、DAP-30、DAU-20、DTU-20、DTC-22、DTC-41、DTC-60●M4

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2500204497142

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DAT-50D、DAT-100S、DA-121D、DA-241S、DAL-181D、DAL-361S、DTC-120、GLD-040、GLD-051、GLS-051、GCD-051X●M5

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2500204497159

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DOP-40D、DOP-80S、DOP-80SP●M5

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2500204497166

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●適合機種：GHD-030、GHD-031、GHD-031A、GHD-031B●φ12●真鍮＋メッキ

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2500204767955

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●ホース口吸気管(φ9×Rc1/8) DAP-6D/12S対応

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2500204767962

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです｡●接ガス部には油､水などは使用していないドライ真空ポンプです｡●サーマルプロテクタを内蔵し､安全面も配慮しました｡●シンプル構造でメンテナンスも容易です｡●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。

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2500205429814

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです｡●接ガス部には油､水などは使用していないドライ真空ポンプです｡●サーマルプロテクタを内蔵し､安全面も配慮しました｡●シンプル構造でメンテナンスも容易です｡●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。

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2500205429869

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです｡●接ガス部には油､水などは使用していないドライ真空ポンプです｡●サーマルプロテクタを内蔵し､安全面も配慮しました｡●シンプル構造でメンテナンスも容易です｡●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。

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2500205429876

●参考寿命:6000~8000h●適用機種:DA-30D/DA-60S●吸排気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●ULVAC ダイアフラム型ドライ真空ポンプ用部品●NBR

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2500205429913

●DAT-50D/100S用のダイアフラムです｡●吸排気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●適合機種:DAT-50D/DAT-100S●参考寿命:6000~8000h●部品名:ダイアフラム●NBR

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2500205430209

●DAT-50D/100S用のポンプヘッドガスケットです｡●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種:DAT-50D/DAT-100S●ULVAC ダイアフラム型ドライ真空ポンプ用部品●参考寿命:6000~8000h●部品名:ヘッドガスケット●NBR

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2500205430216

●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです｡●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより､通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています｡●広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ●クライオポンプ排気系のバックポンプ●メカニカルブースターポンプのバックポンプ●ロードロック室排気●吸着搬送、ハンドリング●レーザーガス循環・排気用●真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置

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2500205430223

●DA-41D他｡●ダイアフラムです｡●適合機種:DA-41D/DA-41DK/DA-81S/DA-81SK/DTC-41/DTC-41K●PTFE

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2500205433835

●DAP-15用ダイアフラムです｡●適合機種:DAP-15●CR

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2500205433842

●DTC-120用ダイアフラムです｡●適合機種:DTC-120●PTFE

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2500205433859

●DTC-60用ダイアフラムです｡●適合機種:DTC-60●PTFE

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2500205433866

●接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです｡●化学工業､半導体業界などで使用する特殊なガス､溶剤を扱う真空引きに最適な､耐久性を増したポンプです｡●濃縮機などの化学機器。●半導体製造装置。●製薬機械。●薬品処理後の乾燥。●真空乾燥機、連結乾燥機。

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2500205484264

●接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです｡●化学工業､半導体業界などで使用する特殊なガス､溶剤を扱う真空引きに最適な､耐久性を増したポンプです｡●濃縮機などの化学機器。●半導体製造装置。●製薬機械。●薬品処理後の乾燥。●真空乾燥機、連結乾燥機。

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2500205484271

●接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです｡●化学工業､半導体業界などで使用する特殊なガス､溶剤を扱う真空引きに最適な､耐久性を増したポンプです｡●濃縮機などの化学機器。●半導体製造装置。●製薬機械。●薬品処理後の乾燥。●真空乾燥機、連結乾燥機。

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2500205484288

●小さいサイズながらも､大きな排気速度です｡●装置組込みに適したコンパクトサイズです｡●マグネットカップリング構造により､軸シールからの油漏れが無く､長寿命化を実現しました｡●吸気管直下型逆流防止弁の搭載により､停止時にポンプ内部が自動的に大気開放します｡●電源コード差込口インレットによる､電源コードの多様化へ対応しました｡●強制給油機構の搭載により､排気速度が安定します｡●大気圧からの作動が可能です｡

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2500205485179

●マルチレンジユニバーサルモータを搭載し､世界中どこの電圧でも対応出来ます｡●簡単な結線変更で多くの電圧に対応出来ます｡●ガスバラスト機構､強制給油機構､油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し､CEマーキング自己宣言品です｡●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。●真空乾燥器、凍結乾燥器。

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2500205486046

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-100D、G-101D(モーター1φ、3φ兼用)●タイプ：A●パーツ内容：オイルシール、Ｏリング、排気弁●排気弁×4、排気弁スプリング×4、OリングS-24×1、OリングS-55×1、OリングP-8×1、OリングP-12×1、OリングP-20×1、OリングP-24×1、OリングV-160、オイルシールHTC-17-40-9×1、オイルシールSCY-17-30-7×1、オイルシールVC-15-30-7×1、OリングS-6×1

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2500201720199

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-100D(モーター1φ用)●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●ベーンスプリング×8、第1ベーン×2、第2ベーン×2、オイルレベルゲージ×1、ベアリング6203×1、ベアリング6002×1、スリーブSN1/8×2、カップリング(φ16×φ16)×1、中間ピン×4

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2500201720205

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-100S、G-101S(モーター1φ、3φ兼用)●タイプ：A●パーツ内容：オイルシール、Ｏリング、排気弁●排気弁×3、排気弁スプリング×3、OリングS-4×1、OリングS-18×2、OリングS-24×1、OリングS-55×1、OリングP-8×1、OリングP-20×1、OリングP-24×1、OリングV-160、オイルシールHTC-17-40-9×1、オイルシールSCY-17-30-7×1、オイルシールVC-15-30-5×1、OリングS-6×1

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2500201720274

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-100S、101S(モーター1φ用)●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●ベーンスプリング×4、ベーン×2、オイルレベルゲージ×1、ベアリング6203×1、ベアリング6002×1、カップリング(φ16×φ16)×1、中間ピン×2

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2500201720281

●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●排気速度(L/min)50/60Hz：100/120●到達圧力(Pa)：0.67●吸気口径(mm)：27●電源(V)：単相100●全幅(mm)：234●全長(mm)：500.5●全高(mm)：264●使用油：SMR-100●電源コード長さ(m)：2.0●一台から異電圧に別作対応●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。

商品コード：

2500201720359

サイズ：

●吸気口径：２７ｍｍ●全幅：２３４ｍｍ●全長：５００．５ｍｍ●全高：２６４ｍｍ

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-101D(モーター1φ用)●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●ベーンスプリング×8、第1ベーン×2、第2ベーン×2、オイルレベルゲージ×1、ベアリング6203×1、ベアリング6002×1、スリーブSN1/8×2、カップリング(φ14×φ16)×1、中間ピン×4

商品コード：

2500201720366

●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●排気速度(L/min)50/60Hz：100/120●到達圧力(Pa)：9.3●吸気口径(mm)：27●電源(V)：単相100●全幅(mm)：234●全長(mm)：500.5●全高(mm)：264●使用油：SMR-100●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。

商品コード：

2500201720373

サイズ：

●吸気口径：２７ｍｍ●全幅：２３４ｍｍ●全長：５００．５ｍｍ●全高：２６４ｍｍ

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-100S、G-101S(モーター3φ用)●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●ベーンスプリング×4、ベーン×2、オイルレベルゲージ×1、ベアリング6203×1、ベアリング6002×1、カップリング(φ14×φ16)×1、中間ピン×2

商品コード：

2500201720380

●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●排気速度(L/min)50/60Hz：10/12●到達圧力(Pa)：1.3●吸気口径(mm)：18●電源(V)：単相100●全幅(mm)：130●全長(mm)：228●全高(mm)：165●使用油：SMR-100●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。

商品コード：

2500201720731

サイズ：

●吸気口径：１８ｍｍ●全幅：１３０ｍｍ●全長：２２８ｍｍ●全高：１６５ｍｍ

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-10DA●パーツ内容：オイルシール、Oリング、排気弁、ベーン●第1ベーン×2、第2ベーン×2、ベーンスプリング×3、排気弁×2、カップリング×1、オイルレベルゲージ×1、オイルシールHTC-9-22-7×1、オイルシールVC-10-20-4×1、OリングS-9×1、OリングP-6×1、OリングP-18×1、OリングS-101.1×1

商品コード：

2500201720748

●小型真空ポンプに適しています。●自社の蒸留装置で高度精製した真空ポンプ油です。●油回転真空ポンプ油●粘度40℃([[mm2]]/s)：44.6●密度15℃(g/[[ＣＭ3]])：0.878●引火点(℃)：230●蒸気圧Pa(Torr)：1.3×10[[の-2乗]]以下(1×10[[の-4乗]]以下)●容量(L)：18●ISO粘度グレード46●引火点：230℃●蒸気圧(50℃)：1.3×10[[の-2乗]]Pa以下(1×10[[の-4乗]]Torr以下)●火気厳禁

商品コード：

2500202284492

●小型真空ポンプに適しています。●自社の蒸留装置で高度精製した真空ポンプ油です。●油回転真空ポンプ油●粘度40℃([[mm2]]/s)：44.6●密度15℃(g/[[ＣＭ3]])：0.878●引火点(℃)：230●蒸気圧Pa(Torr)：1.3×10[[の-2乗]]以下(1×10[[の-4乗]]以下)●容量(L)：1●ISO粘度グレード46●引火点：230℃●蒸気圧(50℃)：1.3×10[[の-2乗]]Pa以下(1×10[[の-4乗]]Torr以下)●火気厳禁

商品コード：

2500202284508

●小型真空ポンプに適しています。●自社の蒸留装置で高度精製した真空ポンプ油です。●油回転真空ポンプ油●粘度40℃([[mm2]]/s)：44.6●密度15℃(g/[[ＣＭ3]])：0.878●引火点(℃)：230●蒸気圧Pa(Torr)：1.3×10[[の-2乗]]以下(1×10[[の-4乗]]以下)●容量(L)：4●ISO粘度グレード46●引火点：230℃●蒸気圧(50℃)：1.3×10[[の-2乗]]Pa以下(1×10[[の-4乗]]Torr以下)●火気厳禁

商品コード：

2500202284577

●ロータリーポンプのオイルミストを捕捉します。●DOP試験の結果が99.999％という極めて高効率なだけでなく、アジ化物に耐性があります。●本体下側は半透明なため、オイルレベルをモニターできます。●独自の脱臭エレメントが付属されているため、オイルミストの臭気が中和されます。●ロータリーポンプの油煙の捕集●適合機種：A65201904、A65201905、A65301904、A65301905、A65401904、A65401905適合機種：RV3、RV5、RV8

商品コード：

2500200941267

●ロータリーポンプのオイルミストを捕捉します。●DOP試験の結果が99.999％という極めて高効率なだけでなく、アジ化物に耐性があります。●本体下側は半透明なため、オイルレベルをモニターできます。●独自の脱臭エレメントが付属されているため、オイルミストの臭気が中和されます。●ロータリーポンプの油煙の捕集●適合機種：A65501904、A65501905、A36310940、A36315904適合機種：RV12、E2M18

商品コード：

2500200941274

●ロータリーポンプのオイルミストを捕捉します。●DOP試験の結果が99.999％という極めて高効率なだけでなく、アジ化物に耐性があります。●本体下側は半透明なため、オイルレベルをモニターできます。●独自の脱臭エレメントが付属されているため、オイルミストの臭気が中和されます。●ロータリーポンプの油煙の捕集●適合機種：A37315904、A37333934適合機種：E2M28

商品コード：

2500200941281

●油回転真空ポンプの排気側取付用部品です。●適合機種：G-101D、G-101S、GHD-101A、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA、GLD-202BB、GCD-136X、GCD-201X●排気口径(mm)：KF-25●取付サイズ：G1●KF-25●PPS

商品コード：

2500201603218

サイズ：

●排気口径：ＫＦ－２５ｍｍ

●油回転真空ポンプの排気側取付用部品です。●適合機種：G-20DA、G-50DA、G-50SA、GHD-031、GLS-051、GLD-051、GCD-051X●排気口径(mm)：KF-25●取付サイズ：G3/4●KF-25●PPS

商品コード：

2500201603225

サイズ：

●排気口径：ＫＦ－２５ｍｍ

●静音設計になっています。●オイルレス構造です。●リニア駆動フリーピストン方式●本体寸法全幅(mm)：91●本体寸法全長(mm)：135●本体寸法全高(mm)：146●到達真空度(kPa)：-33.3●吐出空気量(l/min)：6●リニア駆動フリーピストン方式

商品コード：

2500202144963

サイズ：

●本体寸法全幅：９１ｍｍ●本体寸法全長：１３５ｍｍ●本体寸法全高：１４６ｍｍ

●油回転真空ポンプの性能を最大限に引き出す専用オイルです。●寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。●ポンプ油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。●潤滑、冷却、シールを目的とした油回転真空ポンプ専用オイル。●適合機種：G・GLS・GLD(GLD-040、GLD-280Aを除く)●引火点(℃)：230●内容：18L×1缶●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお薦めします。

商品コード：

2500202892505

●油回転真空ポンプの性能を最大限に引き出す専用オイルです。●寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。●ポンプ油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。●潤滑、冷却、シールを目的とした油回転真空ポンプ専用オイル。●適合機種：G・GLS・GLD(GLD-040、GLD-280Aを除く)●引火点(℃)：230●内容：1L(500ml×2缶)●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお薦めします。

商品コード：

2500202892512

●油回転真空ポンプの性能を最大限に引き出す専用オイルです。●寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。●ポンプ油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。●潤滑、冷却、シールを目的とした油回転真空ポンプ専用オイル。●適合機種：G・GLS・GLD(GLD-040、GLD-280Aを除く)●引火点(℃)：230●内容：4L×1缶●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお薦めします。

商品コード：

2500202892529

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：55/65●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：431●全高(mm)：225●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度55L/min(50Hz)65L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

商品コード：

2500200944077

サイズ：

●吸気口径：ＮＷ２５ｍｍ●全幅：１５８ｍｍ●全長：４３１ｍｍ●全高：２２５ｍｍ

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：85/103●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：431●全高(mm)：225●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度85L/min(50Hz)103L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

商品コード：

2500200944084

サイズ：

●吸気口径：ＮＷ２５ｍｍ●全幅：１５８ｍｍ●全長：４３１ｍｍ●全高：２２５ｍｍ

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：142/167●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：471●全高(mm)：261●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度142L/min(50Hz)167L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

商品コード：

2500200944091

サイズ：

●吸気口径：ＮＷ２５ｍｍ●全幅：１５８ｍｍ●全長：４７１ｍｍ●全高：２６１ｍｍ

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：200/237●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：491●全高(mm)：261●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度200L/min(50Hz)237L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

商品コード：

2500200944107

サイズ：

●吸気口径：ＮＷ２５ｍｍ●全幅：１５８ｍｍ●全長：４９１ｍｍ●全高：２６１ｍｍ

●クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました。●52ｄB(A)未満の静音性です。●最長5年の整備間隔により所有コストを低減します。●ユーザーによるチップシールの交換が可能です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置。●排気速度(L/min)50/60Hz：190●到達圧力(Pa)：0.7●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：432●全長(mm)：265●全高(mm)：302.3●騒音値(dB)：52●寸法(mm)：432×265×302.3●吸気口径：NW25●一台から異電圧に別作対応●電源ケーブルは付属していません。

商品コード：

2500200945289

サイズ：

●吸気口径：ＮＷ２５ｍｍ●全幅：４３２ｍｍ●全長：２６５ｍｍ