真空ポンプ

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：55/65●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：431●全高(mm)：225●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度55L/min(50Hz)65L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

商品コード：

2500200944077

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：85/103●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：431●全高(mm)：225●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度85L/min(50Hz)103L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

商品コード：

2500200944084

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：142/167●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：471●全高(mm)：261●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度142L/min(50Hz)167L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

商品コード：

2500200944091

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：200/237●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：491●全高(mm)：261●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度200L/min(50Hz)237L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

商品コード：

2500200944107

●クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました。●52ｄB(A)未満の静音性です。●最長5年の整備間隔により所有コストを低減します。●ユーザーによるチップシールの交換が可能です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置。●排気速度(L/min)50/60Hz：190●到達圧力(Pa)：0.7●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：432●全長(mm)：265●全高(mm)：302.3●騒音値(dB)：52●寸法(mm)：432×265×302.3●吸気口径：NW25●一台から異電圧に別作対応●電源ケーブルは付属していません。

商品コード：

2500200945289

●クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました。●52ｄB(A)未満の静音性です。●最長5年の整備間隔により所有コストを低減します。●ユーザーによるチップシールの交換が可能です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置。●排気速度(L/min)50/60Hz：252●到達圧力(Pa)：0.7●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：432●全長(mm)：265●全高(mm)：302.3●騒音値(dB)：52●寸法(mm)：432×265×302.3●吸気口径：NW25●一台から異電圧に別作対応●電源ケーブルは付属していません。

商品コード：

2500200945319

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-100D、G-101D(モーター1φ、3φ兼用)●タイプ：A●パーツ内容：オイルシール、Ｏリング、排気弁●排気弁×4、排気弁スプリング×4、OリングS-24×1、OリングS-55×1、OリングP-8×1、OリングP-12×1、OリングP-20×1、OリングP-24×1、OリングV-160、オイルシールHTC-17-40-9×1、オイルシールSCY-17-30-7×1、オイルシールVC-15-30-7×1、OリングS-6×1

商品コード：

2500201720199

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-100D(モーター1φ用)●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●ベーンスプリング×8、第1ベーン×2、第2ベーン×2、オイルレベルゲージ×1、ベアリング6203×1、ベアリング6002×1、スリーブSN1/8×2、カップリング(φ16×φ16)×1、中間ピン×4

商品コード：

2500201720205

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-100S、G-101S(モーター1φ、3φ兼用)●タイプ：A●パーツ内容：オイルシール、Ｏリング、排気弁●排気弁×3、排気弁スプリング×3、OリングS-4×1、OリングS-18×2、OリングS-24×1、OリングS-55×1、OリングP-8×1、OリングP-20×1、OリングP-24×1、OリングV-160、オイルシールHTC-17-40-9×1、オイルシールSCY-17-30-7×1、オイルシールVC-15-30-5×1、OリングS-6×1

商品コード：

2500201720274

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-100S、101S(モーター1φ用)●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●ベーンスプリング×4、ベーン×2、オイルレベルゲージ×1、ベアリング6203×1、ベアリング6002×1、カップリング(φ16×φ16)×1、中間ピン×2

商品コード：

2500201720281

●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●排気速度(L/min)50/60Hz：100/120●到達圧力(Pa)：0.67●吸気口径(mm)：27●電源(V)：単相100●全幅(mm)：234●全長(mm)：500.5●全高(mm)：264●使用油：SMR-100●電源コード長さ(m)：2.0●一台から異電圧に別作対応●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。

商品コード：

2500201720359

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-101D(モーター1φ用)●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●ベーンスプリング×8、第1ベーン×2、第2ベーン×2、オイルレベルゲージ×1、ベアリング6203×1、ベアリング6002×1、スリーブSN1/8×2、カップリング(φ14×φ16)×1、中間ピン×4

商品コード：

2500201720366

●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●排気速度(L/min)50/60Hz：100/120●到達圧力(Pa)：9.3●吸気口径(mm)：27●電源(V)：単相100●全幅(mm)：234●全長(mm)：500.5●全高(mm)：264●使用油：SMR-100●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。

商品コード：

2500201720373

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-100S、G-101S(モーター3φ用)●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●ベーンスプリング×4、ベーン×2、オイルレベルゲージ×1、ベアリング6203×1、ベアリング6002×1、カップリング(φ14×φ16)×1、中間ピン×2

商品コード：

2500201720380

●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●排気速度(L/min)50/60Hz：10/12●到達圧力(Pa)：1.3●吸気口径(mm)：18●電源(V)：単相100●全幅(mm)：130●全長(mm)：228●全高(mm)：165●使用油：SMR-100●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。

商品コード：

2500201720731

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-10DA●パーツ内容：オイルシール、Oリング、排気弁、ベーン●第1ベーン×2、第2ベーン×2、ベーンスプリング×3、排気弁×2、カップリング×1、オイルレベルゲージ×1、オイルシールHTC-9-22-7×1、オイルシールVC-10-20-4×1、OリングS-9×1、OリングP-6×1、OリングP-18×1、OリングS-101.1×1

商品コード：

2500201720748

●小さいサイズながらも、大きな排気速度です。●装置組込みに適したコンパクトサイズです。●マグネットカップリング構造により、軸シールからの油漏れが無く、長寿命化を実現しました。●吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放します。●電源コード差込口インレットによる、電源コードの多様化へ対応しました。●強制給油機構の搭載により、排気速度が安定します。●大気圧からの作動が可能です。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。●真空乾燥器、凍結乾燥器。●リークディテクタ。●排気速度(L/min)50/60Hz：30/36●到達圧力(Pa)：0.67●吸気口径(mm)：KF-16●電源(V)：単相100-120●全幅(mm)：120●全長(mm)：288.5●全高(mm)：163●サーマルプロテクタ付：○●使用油：R-2●電源コード長さ(m)：2.0●2段排気方式●CEマーキング自己宣言品●TUV、cTUVus認証取得品●一台から異電圧に別作対応●真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。●排気口からの油煙(オイルミスト)が大気圧付近では特に発生します。●排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲージが飛び出したり、モータが過負荷になる恐れがあります。●このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。

商品コード：

2500201759816

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GHD-031、GHD-031A、GHD-031B●タイプ：A●パーツ内容：オイルシール、Ｏリング、排気弁●排気弁×2、排気弁スプリング×2、大気開放弁×1、大気開放弁スプリング×1、逆止弁×1、楕円リング×1、大気開放ルートOリング×1、Oリング(S-12)×1、Oリング(S-56)×1、Oリング(S-60)×1、Oリング(ケーシング)×1、Oリング(P-5)×1、Oリング(P-8)×1、Oリング(P-9)×2、Oリング(P12.5)×1、Oリング(P-18)×1、Oリング(P-20)×1、Oリング(G-50)×1、Oリング(SS040)×1、Oリング(SS110)×1、オイルシール(VC-10-20-4)×1、オイルシール(SC-11-25-7)×1

商品コード：

2500201759823

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GHD-031、GHD-031A、GHD-031B●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●第1ベーン×2、第2ベーン×2、オイルポンプベーン×1、インナーカップリング×1、オイルレベルゲージ×1

商品コード：

2500201759830

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GHD-101A、GHD-101B、GHD-101C、GHD-101D●タイプ：A●パーツ内容：オイルシール、Ｏリング、排気弁●排気弁×2、排気弁スプリング×2、大気開放弁スプリング×1、逆止弁×1、Oリング(S-20)×1、Oリング(S-32)×1、Oリング(S-6)×3、Oリング(S-53)×1、Oリング(S-7)×1、Oリング(S-16)×1、Oリング(S-71)×2、Oリング(ケーシング)×1、Oリング(P-24)×1、Oリング(P-12)×1、Oリング(P-8)×1、Oリング(P-9)×2、Oリング(P-12.5)×2、Oリング(P-5)×1、Oリング(P-20)×1、Oリング(SS110)×1、Oリング(SS040)×1、Oリング(N-28)×1、オイルシール(SC13-25-7)×1、オイルシール(VC12-22-4)×1

商品コード：

2500201759847

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GHD-101A、GHD-101B、GHD-101C、GHD-101D●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●第1ベーン×2、第2ベーン×2、オイルレベルゲージ×1

商品コード：

2500201759854

●ロータリーポンプのオイル逆拡散を捕捉します。●オイルミストに対して99.7％の卓越した吸着特性を発揮します。●飽和に達するまでの寿命が極めて長く、吸着剤を含むバスケットを250℃～300℃で2時間加熱すると再生します。●本体はアルミニウム製で、吸着剤が入った着脱式バスケットが付属しています。●ロータリーポンプの油煙の捕集。●適合機種：RVシリーズ、E2Mシリーズ

商品コード：

2500200929463

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/144●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相100●全幅(mm)：162●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●寸法(mm)：162×358×238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447553

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/144●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相200●全幅(mm)：162●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447560

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/145●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：16●電源(V)：単相100●全幅(mm)：193.5●全長(mm)：411●全高(mm)：285●寸法(mm)：193.5×411×285●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●「DA-121D」「DA-241S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。

商品コード：

2500201447577

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-121D●ダイアフラム×2、バルブA×3、バルブ押えA×2、バルブC×1、排気フィルタ×1、Oリング(P-48)×4、Oリング(P-18)×2、Oリング(N-15)×2、吸気フィルタ×1、バルブ押えB×2

商品コード：

2500201447584

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：12/15●到達圧力(Pa)：6.65×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：132●全長(mm)：203●全高(mm)：182.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポンプ寿命を縮めます。

商品コード：

2500201447669

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-15D、DA-30S●ダイアフラム×2、バルブ×2、フィルタ×4、テフロンライナー×2、Oリング(P-30)×4

商品コード：

2500201447676

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-15S●ダイアフラム×1、バルブ×1、フィルタ×2、テフロンライナー×1、Oリング(P-30)×2

商品コード：

2500201447683

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：20/24●到達圧力(Pa)：5.33×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：118●全長(mm)：242●全高(mm)：178.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447836

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-20D、DA-40S●ダイアフラム×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×2、ポンプヘッドカバーガスケット×2

商品コード：

2500201447843

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：240/260●到達圧力(Pa)：16.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：16●電源(V)：単相100●全幅(mm)：207●全長(mm)：411●全高(mm)：285●寸法(mm)：207×411×285●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●高速高圧用●バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447911

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-241S●ダイアフラム×2、バルブA×2、バルブ押えA×2、バルブC×2、排気フィルタ×1、Oリング(P-48)×4、Oリング(P-18)×2、Oリング(N-15)×4、吸気フィルタ×1、バルブ押えB×2

商品コード：

2500201447928

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：30/36●到達圧力(Pa)：6.70×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：212●全長(mm)：278●全高(mm)：224.5●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448055

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-30D、DA-60S●ダイアフラム×2、ヘッドガスケット×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×4

商品コード：

2500201448062

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：24/30●到達圧力(Pa)：26.6×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：132●全長(mm)：203●全高(mm)：182.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポンプ寿命を縮めます。

商品コード：

2500201448079

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：19.9×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：128●全長(mm)：242●全高(mm)：178.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448345

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：157●全長(mm)：336.5●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：3.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ9×I.D.φ6(G1/4)●最大寸法(mm)：157(W)×336.5(L)×217(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす

商品コード：

2500201448369

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-41D、DA-41DK●ダイアフラム×2、バルブA×3、バルブB×1、バルブ押えA×2、バルブ押えB×1、吸排気フィルタ×2、Oリング(S-28)×6、Oリング(P-10A)×2、Oリング(S-4)×2

商品コード：

2500201448376

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：140●全長(mm)：288●全高(mm)：202●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：13.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ12×I.D.φ8(G1/4)●最大寸法(mm)：140(W)×288(L)×202(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448383

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：60/72●到達圧力(Pa)：3.32×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相100●全幅(mm)：156●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●寸法(mm)：156×358×238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポ

商品コード：

2500201448604

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-60D、DA-120S、DAH-60●ダイアフラム×2、吸排気弁×16、エアーフィルタ×2、ポンプヘッドカバーガスケット×2

商品コード：

2500201448611

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：60/72●到達圧力(Pa)：21.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：212●全長(mm)：278●全高(mm)：224.5●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448628

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：75/85●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：181●全長(mm)：336.5●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす

商品コード：

2500201448758

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-81S、DA-81SK●ダイアフラム×2、バルブA×2、バルブB×2、バルブ押えA×2、バルブ押えB×2、吸排気フィルタ×3、Oリング(S-28)×6、Oリング(P-10A)×2、Oリング(S-4)×2

商品コード：

2500201448765

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：75/85●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：153●全長(mm)：288●全高(mm)：202●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448772

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAL-181D●ダイアフラム×4、排気フィルタ×4、バルブA×6、バルブ押えA×4、バルブC×2、バルブ押えB×4、Oリング(P-48)×8、Oリング(P-18)×11

商品コード：

2500201449366

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAL-361S●ダイアフラム×4、吸気フィルタ×2、排気フィルタ×4、バルブA×4、バルブ押えA×4、バルブC×4、バルブ押えB×4、Oリング(P-48)×8、Oリング(P-18)×11

商品コード：

2500201449380

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：12/24●到達圧力(Pa)：24.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：Rc1/8●電源(V)：単相100●全幅(mm)：91●全長(mm)：163●全高(mm)：100.6●電源コード長さ(m)：2●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201449519

●減圧、加圧両用のダイアフラム型ポンプです。●吸気口に配管すれば真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。●加圧圧力は150kPaです。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：15/18●到達圧力(Pa)：39.9×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：115●全長(mm)：178.5●全高(mm)：153.5●電源コード長さ(m)：2●減圧・加圧両用●加圧圧力：150kPa●1段排気方式●加圧圧力(ゲージ圧)(MPa)：0.15●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●加圧で使用する場合は、0.15Mpa以下でご使用

商品コード：

2500201449540