真空ポンプ

●ロータリーポンプのオイルミストを捕捉します。●DOP試験の結果が99.999％という極めて高効率なだけでなく、アジ化物に耐性があります。●本体下側は半透明なため、オイルレベルをモニターできます。●独自の脱臭エレメントが付属されているため、オイルミストの臭気が中和されます。●ロータリーポンプの油煙の捕集●適合機種：A65201904、A65201905、A65301904、A65301905、A65401904、A65401905適合機種：RV3、RV5、RV8

商品コード：

2500200941267

●ロータリーポンプのオイルミストを捕捉します。●DOP試験の結果が99.999％という極めて高効率なだけでなく、アジ化物に耐性があります。●本体下側は半透明なため、オイルレベルをモニターできます。●独自の脱臭エレメントが付属されているため、オイルミストの臭気が中和されます。●ロータリーポンプの油煙の捕集●適合機種：A65501904、A65501905、A36310940、A36315904適合機種：RV12、E2M18

商品コード：

2500200941274

●ロータリーポンプのオイルミストを捕捉します。●DOP試験の結果が99.999％という極めて高効率なだけでなく、アジ化物に耐性があります。●本体下側は半透明なため、オイルレベルをモニターできます。●独自の脱臭エレメントが付属されているため、オイルミストの臭気が中和されます。●ロータリーポンプの油煙の捕集●適合機種：A37315904、A37333934適合機種：E2M28

商品コード：

2500200941281

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/144●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相100●全幅(mm)：162●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●寸法(mm)：162×358×238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447553

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/144●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相200●全幅(mm)：162●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447560

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/145●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：16●電源(V)：単相100●全幅(mm)：193.5●全長(mm)：411●全高(mm)：285●寸法(mm)：193.5×411×285●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●「DA-121D」「DA-241S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。

商品コード：

2500201447577

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-121D●ダイアフラム×2、バルブA×3、バルブ押えA×2、バルブC×1、排気フィルタ×1、Oリング(P-48)×4、Oリング(P-18)×2、Oリング(N-15)×2、吸気フィルタ×1、バルブ押えB×2

商品コード：

2500201447584

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：12/15●到達圧力(Pa)：6.65×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：132●全長(mm)：203●全高(mm)：182.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポンプ寿命を縮めます。

商品コード：

2500201447669

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-15D、DA-30S●ダイアフラム×2、バルブ×2、フィルタ×4、テフロンライナー×2、Oリング(P-30)×4

商品コード：

2500201447676

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-15S●ダイアフラム×1、バルブ×1、フィルタ×2、テフロンライナー×1、Oリング(P-30)×2

商品コード：

2500201447683

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：20/24●到達圧力(Pa)：5.33×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：118●全長(mm)：242●全高(mm)：178.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447836

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-20D、DA-40S●ダイアフラム×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×2、ポンプヘッドカバーガスケット×2

商品コード：

2500201447843

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：240/260●到達圧力(Pa)：16.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：16●電源(V)：単相100●全幅(mm)：207●全長(mm)：411●全高(mm)：285●寸法(mm)：207×411×285●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●高速高圧用●バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447911

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-241S●ダイアフラム×2、バルブA×2、バルブ押えA×2、バルブC×2、排気フィルタ×1、Oリング(P-48)×4、Oリング(P-18)×2、Oリング(N-15)×4、吸気フィルタ×1、バルブ押えB×2

商品コード：

2500201447928

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：30/36●到達圧力(Pa)：6.70×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：212●全長(mm)：278●全高(mm)：224.5●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448055

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-30D、DA-60S●ダイアフラム×2、ヘッドガスケット×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×4

商品コード：

2500201448062

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：24/30●到達圧力(Pa)：26.6×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：132●全長(mm)：203●全高(mm)：182.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポンプ寿命を縮めます。

商品コード：

2500201448079

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：19.9×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：128●全長(mm)：242●全高(mm)：178.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448345

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：157●全長(mm)：336.5●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：3.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ9×I.D.φ6(G1/4)●最大寸法(mm)：157(W)×336.5(L)×217(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす

商品コード：

2500201448369

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-41D、DA-41DK●ダイアフラム×2、バルブA×3、バルブB×1、バルブ押えA×2、バルブ押えB×1、吸排気フィルタ×2、Oリング(S-28)×6、Oリング(P-10A)×2、Oリング(S-4)×2

商品コード：

2500201448376

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：140●全長(mm)：288●全高(mm)：202●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：13.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ12×I.D.φ8(G1/4)●最大寸法(mm)：140(W)×288(L)×202(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448383

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：60/72●到達圧力(Pa)：3.32×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相100●全幅(mm)：156●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●寸法(mm)：156×358×238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポ

商品コード：

2500201448604

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-60D、DA-120S、DAH-60●ダイアフラム×2、吸排気弁×16、エアーフィルタ×2、ポンプヘッドカバーガスケット×2

商品コード：

2500201448611

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：60/72●到達圧力(Pa)：21.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：212●全長(mm)：278●全高(mm)：224.5●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448628

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：75/85●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：181●全長(mm)：336.5●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす

商品コード：

2500201448758

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-81S、DA-81SK●ダイアフラム×2、バルブA×2、バルブB×2、バルブ押えA×2、バルブ押えB×2、吸排気フィルタ×3、Oリング(S-28)×6、Oリング(P-10A)×2、Oリング(S-4)×2

商品コード：

2500201448765

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：75/85●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：153●全長(mm)：288●全高(mm)：202●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448772

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAL-181D●ダイアフラム×4、排気フィルタ×4、バルブA×6、バルブ押えA×4、バルブC×2、バルブ押えB×4、Oリング(P-48)×8、Oリング(P-18)×11

商品コード：

2500201449366

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAL-361S●ダイアフラム×4、吸気フィルタ×2、排気フィルタ×4、バルブA×4、バルブ押えA×4、バルブC×4、バルブ押えB×4、Oリング(P-48)×8、Oリング(P-18)×11

商品コード：

2500201449380

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：12/24●到達圧力(Pa)：24.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：Rc1/8●電源(V)：単相100●全幅(mm)：91●全長(mm)：163●全高(mm)：100.6●電源コード長さ(m)：2●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201449519

●減圧、加圧両用のダイアフラム型ポンプです。●吸気口に配管すれば真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。●加圧圧力は150kPaです。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：15/18●到達圧力(Pa)：39.9×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：115●全長(mm)：178.5●全高(mm)：153.5●電源コード長さ(m)：2●減圧・加圧両用●加圧圧力：150kPa●1段排気方式●加圧圧力(ゲージ圧)(MPa)：0.15●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●加圧で使用する場合は、0.15Mpa以下でご使用

商品コード：

2500201449540

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAP-15●ダイアフラム×1、吸排気弁×2、エアーフィルタ×2、ヘッドガスケット×1

商品コード：

2500201449564

●減圧、加圧両用のダイアフラム型ポンプです。●吸気口に配管すれば真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。●加圧圧力は150kPaです。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：30/36●到達圧力(Pa)：33.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：142●全長(mm)：215.0●全高(mm)：180●電源コード長さ(m)：2●減圧・加圧両用●加圧圧力：150kPa●1段排気方式●一台から異電圧に別作対応●加圧圧力(ゲージ圧)(MPa)：0.15●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●加圧で使用する場合は、0.15Mpa以下でご使用下さい。

商品コード：

2500201449571

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAP-30●ダイアフラム×1、ヘッドガスケット×1、吸排気弁×2、エアーフィルタ×2、Oリング(P-10)×2

商品コード：

2500201449588

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：6/7●到達圧力(Pa)：6.65×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：Rc1/8●電源(V)：単相100●全幅(mm)：91●全長(mm)：163●全高(mm)：100.6●電源コード長さ(m)：2●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。

商品コード：

2500201449595

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAP-6D、DAP-12S、DAP-9D、DAP-18S●ダイアフラム×2、バルブ×4、ヘッドガスケット×2

商品コード：

2500201449601

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAT-100S●ダイアフラム×2、ポンプヘッドガスケット×2、吸排気弁×6、エアーフィルタ×3

商品コード：

2500201451024

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：50/55●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：150●全長(mm)：232●全高(mm)：305●寸法(mm)：150×232×305●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：3.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●最大寸法(mm)：150(W)×232(L)×305(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201451062

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAT-50D●ダイアフラム×2、ポンプヘッドガスケット×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×2

商品コード：

2500201451079

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAU-100●ダイアフラム×4、バルブ×12、ヘッドガスケット×4、Oリング(P-18)×1、Oリング(P-10)×7、弁板×1

商品コード：

2500201451123

●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。●ロードロック室排気。●吸着搬送、ハンドリング。●レーザーガス循環・排気用。●真空乾燥装置、連結真空乾燥装置●排気速度(L/min)50/60Hz：20/23●到達圧力(Pa)：200●吸気口径(mm)：10●電源(V)：単相100●全幅(mm)：161●全長(mm)：327●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●3段排気方式●接ガス部耐食性●一台から異電圧に別作対応●到達圧力(KPa)：0.2●吸排気管径(mm)：O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)●最大寸法(mm)：161(W)×327(L)×218(H)●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201451130

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAU-20●ダイアフラム×4、バルブ×6、バルブ穴あり×2

商品コード：

2500201451147

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-150●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510547

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-151●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510554

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-250、DSB-251●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510615

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-450●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510653

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-451●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510660

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-600、DSB-601●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510707

●メカニカルブースター真空ポンプ用のギア油です。●極圧材を配合することで高速回転にも使用できます。●ギア潤滑油●粘度40℃([[mm2]]/s)：83.0●引火点(℃)：250以上●蒸気圧Pa(Torr)：1.3×10[[の-3乗]]以下(1×10[[の-5乗]]以下)●容量(L)：18●引火点：250℃以上●蒸気圧(50℃)：1.3×10[[の-3乗]]Pa以下(1×10[[の-5乗]]Torr以下)●火気厳禁

商品コード：

2500201571265

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-100D、G-101D(モーター1φ、3φ兼用)●タイプ：A●パーツ内容：オイルシール、Ｏリング、排気弁●排気弁×4、排気弁スプリング×4、OリングS-24×1、OリングS-55×1、OリングP-8×1、OリングP-12×1、OリングP-20×1、OリングP-24×1、OリングV-160、オイルシールHTC-17-40-9×1、オイルシールSCY-17-30-7×1、オイルシールVC-15-30-7×1、OリングS-6×1

商品コード：

2500201720199