真空ポンプ

●真空配管部品●フランジサイズ：NW40●A(mm)：130●NW40用、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292993

●真空配管部品●フランジサイズ：NW40/25●A(mm)：24●B(mm)：28●NW40/25用、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201293006

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DTC-60●ダイアフラム×2、吸気弁A×1、吸気弁B×1、排気弁A×2、排気弁B×2、排気弁押え×1、Oリング(P-38)×4、Oリング(P-14)×2、Oリング(N-11)×4

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2500201516204

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DTU-20●ダイアフラム×4、バルブ×6、バルブ穴あり×2

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2500201517010

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●適合機種：G-5SA、G-5DA、G-10DA、G-25SA、G-20DA、G-50SA、G-50DA●取付サイズ：φ12×M20●材質：真鍮+メッキ

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2500202973808

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●適合機種：G-5SA、G-5DA、G-10DA、G-25SA、G-20DA、G-50SA、G-50DA●取付サイズ：φ15×M20●材質：真鍮+メッキ

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2500202973815

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●適合機種：G-5SA、G-5DA、G-10DA、G-25SA、G-20DA、G-50SA、G-50DA●取付サイズ：φ18×M20●材質：真鍮+メッキ

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2500202973822

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●適合機種：G-5SA、G-5DA、G-10DA、G-25SA、G-20DA、G-50SA、G-50DA●取付サイズ：φ22×M20●材質：真鍮+メッキ

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2500202973839

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●適合機種：G-101S、G-101D、GLS-051、GLD-051、GLD-040、GCD-051X、G-100S、G-100D●取付サイズ：φ27×□40●材質：ZDC+メッキ

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2500202973846

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●適合機種：GHD-100A、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA、GLD202BB、GLD-280A、GCD-136X、GCD-201X●取付サイズ：φ27×□50●材質：ZDC+メッキ

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2500202973853

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●適合機種：G-5SA、G-5DA、G-10DA、G-25SA、G-20DA、G-50SA、G-50DA●取付サイズ：φ8×M20●材質：真鍮+メッキ

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2500202973860

●油回転真空ポンプの吸気側取付用部品です。●適合機種：G-100S、G-100D、G-101S、G-101D、GLS-051、GLD-051、GLD-040、GCD-051X●取付サイズ：40角●吸気口径(mm)：KF-25●PPS

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2500202973877

●油回転真空ポンプの吸気側取付用部品です。●適合機種：GHD-101A、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA、GLD-202BB、GLD-280A、GCD-136X、GCD-201X●取付サイズ：50角●吸気口径(mm)：KF-25●PPS

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2500202973884

●合成系油拡散ポンプ油です。●油拡散ポンプ油●粘度40℃([[ＭＭ2]]/s)：22.0●密度15℃(g/[[ＣＭ3]])：0.936●引火点(℃)：235●蒸気圧Pa(Torr)：7×10[[の-6乗]]以下(5×10[[の-8乗]]以下)●容量(L)：1●引火点：235℃●蒸気圧：7×10[[の-6乗]]Pa以下(5×10[[の-8乗]]Torr以下)●火気厳禁

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2500202992472

●合成系油拡散ポンプ油です。●油拡散ポンプ油●粘度40℃([[ＭＭ2]]/s)：26.0●密度15℃(g/[[ＣＭ3]])：0.928●引火点(℃)：240●蒸気圧Pa(Torr)：1.3×10の-9条以下(1×10の-8条)●容量(L)：1●引火点：250℃●蒸気圧：1×10[[の-6乗]]Pa以下(1×10[[の-8乗]]Torr以下)●火気厳禁

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2500202994391

●フィルタエレメントのみ交換可能です。●低負荷用：連続吸入圧：10kPa以下、高負荷用：連続吸入圧：100kPa以下でご使用ください。●オイルミストトラップは油回転真空ポンプの油煙を取り除きます。●油回転真空ポンプの油煙の取り除きに。●適合機種：VD30C、VD40C低負荷用●外径(mm)：165.2●全長(mm)：280●本体：スチール●フィルタ：グラスウール●本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。

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2500203244044

●フィルタエレメントのみ交換可能です。●低負荷用：連続吸入圧：10kPa以下、高負荷用：連続吸入圧：100kPa以下でご使用ください。●オイルミストトラップは油回転真空ポンプの油煙を取り除きます。●油回転真空ポンプの油煙の取り除きに。●適合機種：VD30C/VD40C高負荷用、VD60C/VD90C低負荷用●外径(mm)：165.2●全長(mm)：350●本体：スチール●フィルタ：グラスウール●本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。

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2500203246857

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●□40アダプター(M20メネジ) ZDC+メッキ

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2500203845753

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。

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2500203868226

●オイルミストトラップ(OMT、OMI)取付用アダプタです。●G3/4オス×G1メス

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2500203948072

●適合機種：DA-15D/DA-30S

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2500204139295

●適合機種：DA-30D/DA-60S

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2500204139318

●適合機種：DAP-6D/DAP-12S/DAP-9D-DC24/DAP-18S-DC24

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2500204139332

●接ガス部に油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。●大排気量でコンパクトサイズです。●大気圧から作動が可能です。●自動機などの真空吸着搬送。●真空包装、印刷機械。●吸引機。●チップマウンター。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/140●到達圧力(Pa)：8.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：メネジRc1/4●電源(V)：三相200-220●全幅(mm)：139.5●全長(mm)：255●全高(mm)：167●1段式排気方式●CE自己宣言品●TUV認証取得品●cTUVus認証取得品●負荷運転時にポンプを停止し、直後に再度運転する場合、再起動しない事があります。この場合はポンプ内部を大気圧に戻してください。●腐食性ガス･有機溶剤･液体及び凝縮性ガス(水蒸気等)は吸引しないでください。また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。●ポンプの摺動材であるカップパッキンは運転により磨耗し、磨耗粉が発生いたします。また、使用している摺動材は水分に弱いため、吸引した場合磨耗が促進され寿命が低下します。水分及び凝縮性ガス(水蒸気等)は吸引しないでください。●屋内専用のポンプです。雨や水のかかるような場所や屋外には設置しないでください。●ポンプを装置等に固定される際は、必ず防振ゴムを取り付けてください。防振ゴムの取付けネジサイズはM6×P1.0です。

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2500204159996

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：55/65●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：431●全高(mm)：225●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度55L/min(50Hz)65L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

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2500200944077

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：85/103●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：431●全高(mm)：225●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度85L/min(50Hz)103L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

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2500200944084

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：142/167●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：471●全高(mm)：261●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度142L/min(50Hz)167L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

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2500200944091

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：200/237●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：491●全高(mm)：261●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度200L/min(50Hz)237L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

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2500200944107

●クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました。●52ｄB(A)未満の静音性です。●最長5年の整備間隔により所有コストを低減します。●ユーザーによるチップシールの交換が可能です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置。●排気速度(L/min)50/60Hz：190●到達圧力(Pa)：0.7●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：432●全長(mm)：265●全高(mm)：302.3●騒音値(dB)：52●寸法(mm)：432×265×302.3●吸気口径：NW25●一台から異電圧に別作対応●電源ケーブルは付属していません。

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2500200945289

●クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました。●52ｄB(A)未満の静音性です。●最長5年の整備間隔により所有コストを低減します。●ユーザーによるチップシールの交換が可能です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置。●排気速度(L/min)50/60Hz：252●到達圧力(Pa)：0.7●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：432●全長(mm)：265●全高(mm)：302.3●騒音値(dB)：52●寸法(mm)：432×265×302.3●吸気口径：NW25●一台から異電圧に別作対応●電源ケーブルは付属していません。

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2500200945319

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/144●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相100●全幅(mm)：162●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●寸法(mm)：162×358×238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201447553

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/144●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相200●全幅(mm)：162●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201447560

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/145●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：16●電源(V)：単相100●全幅(mm)：193.5●全長(mm)：411●全高(mm)：285●寸法(mm)：193.5×411×285●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●「DA-121D」「DA-241S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。

商品コード：

2500201447577

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-121D●ダイアフラム×2、バルブA×3、バルブ押えA×2、バルブC×1、排気フィルタ×1、Oリング(P-48)×4、Oリング(P-18)×2、Oリング(N-15)×2、吸気フィルタ×1、バルブ押えB×2

商品コード：

2500201447584

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：12/15●到達圧力(Pa)：6.65×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：132●全長(mm)：203●全高(mm)：182.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポンプ寿命を縮めます。

商品コード：

2500201447669

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-15D、DA-30S●ダイアフラム×2、バルブ×2、フィルタ×4、テフロンライナー×2、Oリング(P-30)×4

商品コード：

2500201447676

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-15S●ダイアフラム×1、バルブ×1、フィルタ×2、テフロンライナー×1、Oリング(P-30)×2

商品コード：

2500201447683

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：20/24●到達圧力(Pa)：5.33×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：118●全長(mm)：242●全高(mm)：178.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201447836

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-20D、DA-40S●ダイアフラム×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×2、ポンプヘッドカバーガスケット×2

商品コード：

2500201447843

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：240/260●到達圧力(Pa)：16.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：16●電源(V)：単相100●全幅(mm)：207●全長(mm)：411●全高(mm)：285●寸法(mm)：207×411×285●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●高速高圧用●バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447911

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-241S●ダイアフラム×2、バルブA×2、バルブ押えA×2、バルブC×2、排気フィルタ×1、Oリング(P-48)×4、Oリング(P-18)×2、Oリング(N-15)×4、吸気フィルタ×1、バルブ押えB×2

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2500201447928

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：30/36●到達圧力(Pa)：6.70×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：212●全長(mm)：278●全高(mm)：224.5●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448055

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-30D、DA-60S●ダイアフラム×2、ヘッドガスケット×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×4

商品コード：

2500201448062

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：24/30●到達圧力(Pa)：26.6×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：132●全長(mm)：203●全高(mm)：182.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポンプ寿命を縮めます。

商品コード：

2500201448079

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：19.9×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：128●全長(mm)：242●全高(mm)：178.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448345

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：157●全長(mm)：336.5●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：3.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ9×I.D.φ6(G1/4)●最大寸法(mm)：157(W)×336.5(L)×217(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす

商品コード：

2500201448369

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-41D、DA-41DK●ダイアフラム×2、バルブA×3、バルブB×1、バルブ押えA×2、バルブ押えB×1、吸排気フィルタ×2、Oリング(S-28)×6、Oリング(P-10A)×2、Oリング(S-4)×2

商品コード：

2500201448376

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：140●全長(mm)：288●全高(mm)：202●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：13.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ12×I.D.φ8(G1/4)●最大寸法(mm)：140(W)×288(L)×202(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448383

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：60/72●到達圧力(Pa)：3.32×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相100●全幅(mm)：156●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●寸法(mm)：156×358×238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポ

商品コード：

2500201448604

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-60D、DA-120S、DAH-60●ダイアフラム×2、吸排気弁×16、エアーフィルタ×2、ポンプヘッドカバーガスケット×2

商品コード：

2500201448611