真空ポンプ

●溶剤を一切使用せず、純度99.9%まで3回精製し、ポンプの運転時間ならびに真空度を最大限に引き出す高純度オイルです。●他社メーカーの真空オイルと互換性があり、多種多様な小・中型ロータリーポンプに対応可能です。●ロータリーポンプ用交換オイル●適合機種：RVシリーズ、E2Mシリーズ●引火点(℃)：230●容量(L)：4●引火点：230℃●鉱物油

商品コード：

2500201818803

●溶剤を一切使用せず、純度99.9%まで3回精製し、ポンプの運転時間ならびに真空度を最大限に引き出す高純度オイルです。●他社メーカーの真空オイルと互換性があり、多種多様な小・中型ロータリーポンプに対応可能です。●ロータリーポンプ用交換オイル●適合機種：RVシリーズ、E2Mシリーズ●引火点(℃)：230●容量(L)：1●引火点：230℃●鉱物油

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2500201818810

●リニア駆動フリーピストン方式●吸気口径(mm)：φ6mm(外径)●本体寸法全幅(mm)：75●本体寸法全長(mm)：91.5●本体寸法全高(mm)：90●到達真空度(kPa)：-33.3●吐出空気量(l/min)：7●定格電圧(V)：AC100●リニア駆動フリーピストン方式

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2500203573335

●リニア駆動フリーピストン方式●吸気口径(mm)：φ15mm(外径)●本体寸法全幅(mm)：118●本体寸法全長(mm)：176●本体寸法全高(mm)：138●到達真空度(kPa)：-33.3●吐出空気量(l/min)：40●定格電圧(V)：AC100●リニア駆動フリーピストン方式

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2500203573397

●AC駆動リニア真空ポンプです。●フリーピストンです。●到達真空度：-53.3kPa●吐出空気量：60L/min●定格電圧(V)：AC100V●消費電力：95W●電流：2.4/2.7A

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2500203573410

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●□40アダプター(M20メネジ) ZDC+メッキ

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2500203845753

●オイルミストトラップ(OMT、OMI)取付用アダプタです。●G3/4オス×G1メス

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2500203948072

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●内径φ9×外径φ24適用ホース口：φ11、φ12●吸気口径：PT1/4×L20オス●真鍮＋メッキ

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2500203974927

●適合機種：DOP-300S/DOP-300SA/DOP-301SA/DOP-301SB/DOP-301SVB

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2500204100066

●適合機種：DOP-400SA/DOP-400SB

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2500204100073

●適合機種：DOP-40D/DOP-80S

商品コード：

2500204100080

●適合機種：DA-15D/DA-30S

商品コード：

2500204139295

●適合機種：DA-20D/DA-40S

商品コード：

2500204139301

●適合機種：DA-30D/DA-60S

商品コード：

2500204139318

●適合機種：DA-60D/DA-120S

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2500204139325

●適合機種：DAP-6D/DAP-12S/DAP-9D-DC24/DAP-18S-DC24

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2500204139332

●DTC-41/DTC-41K用の排気弁Ａです。●適合機種：DTC-41/DTC-41K

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2500204402771

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DA-15D、DA-30S、DA-30D、DA-60S、DA-41D、DA-81SDA-60D、DA-120S、DAP-15、DAP-30、DAU-20、DTU-20、DTC-22、DTC-41、DTC-60●M4

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2500204497142

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DAT-50D、DAT-100S、DA-121D、DA-241S、DAL-181D、DAL-361S、DTC-120、GLD-040、GLD-051、GLS-051、GCD-051X●M5

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2500204497159

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DOP-40D、DOP-80S、DOP-80SP●M5

商品コード：

2500204497166

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DAT-50D、DAT-100S、DA-121D、DA-241S、DAL-181D、DAL-361S、DTC-120、GHD-101、GLD-040、GLD-051、GLS-051、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA、GLD-202BB、GLD-280A、GCD-051X、GCD-136X、GCD-201X●M5

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2500204497210

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです｡●接ガス部には油､水などは使用していないドライ真空ポンプです｡●サーマルプロテクタを内蔵し､安全面も配慮しました｡●シンプル構造でメンテナンスも容易です｡●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。

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2500205429814

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです｡●接ガス部には油､水などは使用していないドライ真空ポンプです｡●サーマルプロテクタを内蔵し､安全面も配慮しました｡●シンプル構造でメンテナンスも容易です｡●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。

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2500205429869

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです｡●接ガス部には油､水などは使用していないドライ真空ポンプです｡●サーマルプロテクタを内蔵し､安全面も配慮しました｡●シンプル構造でメンテナンスも容易です｡●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。

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2500205429876

●参考寿命:6000~8000h●適用機種:DA-30D/DA-60S●吸排気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●ULVAC ダイアフラム型ドライ真空ポンプ用部品●NBR

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2500205429913

●DAT-50D/100S用のダイアフラムです｡●吸排気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●適合機種:DAT-50D/DAT-100S●参考寿命:6000~8000h●部品名:ダイアフラム●NBR

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2500205430209

●DAT-50D/100S用のポンプヘッドガスケットです｡●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種:DAT-50D/DAT-100S●ULVAC ダイアフラム型ドライ真空ポンプ用部品●参考寿命:6000~8000h●部品名:ヘッドガスケット●NBR

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2500205430216

●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです｡●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより､通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています｡●広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ●クライオポンプ排気系のバックポンプ●メカニカルブースターポンプのバックポンプ●ロードロック室排気●吸着搬送、ハンドリング●レーザーガス循環・排気用●真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置

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2500205430223

●DA-41D他｡●ダイアフラムです｡●適合機種:DA-41D/DA-41DK/DA-81S/DA-81SK/DTC-41/DTC-41K●PTFE

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2500205433835

●DAP-15用ダイアフラムです｡●適合機種:DAP-15●CR

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2500205433842

●DTC-120用ダイアフラムです｡●適合機種:DTC-120●PTFE

商品コード：

2500205433859

●DTC-60用ダイアフラムです｡●適合機種:DTC-60●PTFE

商品コード：

2500205433866

●接ガス部に油､水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです｡●大排気量でコンパクトサイズです｡●大気圧から作動が可能です｡●自動機などの真空吸着搬送。●真空包装、印刷機械。●吸引機。●チップマウンター。●排気速度(L/min)50/60Hz:180/200●到達圧力(Pa):10.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm):メネジRc3/8●電源(V):単相100●全幅(mm):172●全長(mm):266●全高(mm):235●電源コード長さ(m):1.8

商品コード：

2500205438281

●接ガス部に油､水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです｡●大排気量でコンパクトサイズです｡●大気圧から作動が可能です｡●自動機などの真空吸着搬送。●真空包装、印刷機械。●吸引機。●チップマウンター。●排気速度(L/min)50/60Hz:180/200●到達圧力(Pa):10.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm):Rc3/8●電源(V):三相200-220●全幅(mm):160●全長(mm):266●全高(mm):235●寸法(mm):160×266×235

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2500205438298

●接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです｡●化学工業､半導体業界などで使用する特殊なガス､溶剤を扱う真空引きに最適な､耐久性を増したポンプです｡●濃縮機などの化学機器。●半導体製造装置。●製薬機械。●薬品処理後の乾燥。●真空乾燥機、連結乾燥機。

商品コード：

2500205484264

●接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです｡●化学工業､半導体業界などで使用する特殊なガス､溶剤を扱う真空引きに最適な､耐久性を増したポンプです｡●濃縮機などの化学機器。●半導体製造装置。●製薬機械。●薬品処理後の乾燥。●真空乾燥機、連結乾燥機。

商品コード：

2500205484271

●接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです｡●化学工業､半導体業界などで使用する特殊なガス､溶剤を扱う真空引きに最適な､耐久性を増したポンプです｡●濃縮機などの化学機器。●半導体製造装置。●製薬機械。●薬品処理後の乾燥。●真空乾燥機、連結乾燥機。

商品コード：

2500205484288

●小さいサイズながらも､大きな排気速度です｡●装置組込みに適したコンパクトサイズです｡●マグネットカップリング構造により､軸シールからの油漏れが無く､長寿命化を実現しました｡●吸気管直下型逆流防止弁の搭載により､停止時にポンプ内部が自動的に大気開放します｡●電源コード差込口インレットによる､電源コードの多様化へ対応しました｡●強制給油機構の搭載により､排気速度が安定します｡●大気圧からの作動が可能です｡

商品コード：

2500205485179

●マルチレンジユニバーサルモータを搭載し､世界中どこの電圧でも対応出来ます｡●簡単な結線変更で多くの電圧に対応出来ます｡●ガスバラスト機構､強制給油機構､油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し､CEマーキング自己宣言品です｡●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。●真空乾燥器、凍結乾燥器。

商品コード：

2500205486046

●清音タイプとなりオフィスや静かな研究室で使っても運転音が気になりません｡●真空ポンプから漏れ出る油を処理する必要がありません｡●装置側に油が逆流して装置を汚す心配がありません｡●異電圧に別作対応です｡●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器用。●真空排気装置、電子顕微鏡のバックに。●半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置に。●真空乾燥器、凍結乾燥器に。

商品コード：

2500205489948