真空ポンプ

●減圧、加圧両用のダイアフラム型ポンプです。●吸気口に配管すれば真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。●加圧圧力は150kPaです。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：30/36●到達圧力(Pa)：33.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：142●全長(mm)：215.0●全高(mm)：180●電源コード長さ(m)：2●減圧・加圧両用●加圧圧力：150kPa●1段排気方式●一台から異電圧に別作対応●加圧圧力(ゲージ圧)(MPa)：0.15●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●加圧で使用する場合は、0.15Mpa以下でご使用下さい。

商品コード：

2500201449571

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAP-30●ダイアフラム×1、ヘッドガスケット×1、吸排気弁×2、エアーフィルタ×2、Oリング(P-10)×2

商品コード：

2500201449588

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：6/7●到達圧力(Pa)：6.65×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：Rc1/8●電源(V)：単相100●全幅(mm)：91●全長(mm)：163●全高(mm)：100.6●電源コード長さ(m)：2●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。

商品コード：

2500201449595

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAP-6D、DAP-12S、DAP-9D、DAP-18S●ダイアフラム×2、バルブ×4、ヘッドガスケット×2

商品コード：

2500201449601

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAT-100S●ダイアフラム×2、ポンプヘッドガスケット×2、吸排気弁×6、エアーフィルタ×3

商品コード：

2500201451024

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：50/55●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：150●全長(mm)：232●全高(mm)：305●寸法(mm)：150×232×305●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：3.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●最大寸法(mm)：150(W)×232(L)×305(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201451062

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAT-50D●ダイアフラム×2、ポンプヘッドガスケット×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×2

商品コード：

2500201451079

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAU-100●ダイアフラム×4、バルブ×12、ヘッドガスケット×4、Oリング(P-18)×1、Oリング(P-10)×7、弁板×1

商品コード：

2500201451123

●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。●ロードロック室排気。●吸着搬送、ハンドリング。●レーザーガス循環・排気用。●真空乾燥装置、連結真空乾燥装置●排気速度(L/min)50/60Hz：20/23●到達圧力(Pa)：200●吸気口径(mm)：10●電源(V)：単相100●全幅(mm)：161●全長(mm)：327●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●3段排気方式●接ガス部耐食性●一台から異電圧に別作対応●到達圧力(KPa)：0.2●吸排気管径(mm)：O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)●最大寸法(mm)：161(W)×327(L)×218(H)●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201451130

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAU-20●ダイアフラム×4、バルブ×6、バルブ穴あり×2

商品コード：

2500201451147

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-150●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510547

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-151●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510554

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-250、DSB-251●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510615

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-450●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510653

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-451●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510660

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-600、DSB-601●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510707

●メカニカルブースター真空ポンプ用のギア油です。●極圧材を配合することで高速回転にも使用できます。●ギア潤滑油●粘度40℃([[mm2]]/s)：83.0●引火点(℃)：250以上●蒸気圧Pa(Torr)：1.3×10[[の-3乗]]以下(1×10[[の-5乗]]以下)●容量(L)：18●引火点：250℃以上●蒸気圧(50℃)：1.3×10[[の-3乗]]Pa以下(1×10[[の-5乗]]Torr以下)●火気厳禁

商品コード：

2500201571265

●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●排気速度(L/min)50/60Hz：20/24●到達圧力(Pa)：1.3●吸気口径(mm)：18●電源(V)：単相100●全幅(mm)：156●全長(mm)：295.5●全高(mm)：199.5●使用油：SMR-100●電源コード長さ(m)：2.0●一台から異電圧に別作対応●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。

商品コード：

2500201724050

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-20DA●パーツ内容：オイルシール、Oリング、排気弁、ベーン●第1ベーン×2、ベーンスプリング×3、第2ベーン×2、排気弁×3、オイルレベルゲージ×1、スパイダー×1、オイルシールHTC-11-25-7×1、オイルシールSC-12-25-7×1、OリングS-15×1、OリングS-29×1、OリングS-120.9×1、OリングP-8×1、OリングP-18×1

商品コード：

2500201724067

●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●排気速度(L/min)50/60Hz：20/24●到達圧力(Pa)：9.3●吸気口径(mm)：18●電源(V)：単相100●全幅(mm)：156●全長(mm)：284●全高(mm)：199.5●サーマルプロテクタ付：付●使用油：SMR-100●電源コード長さ(m)：2.0●一台から異電圧に別作対応●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。

商品コード：

2500201725972

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-25SA●パーツ内容：オイルシール、Oリング、排気弁、ベーン●第1ベーン×2、ベーンスプリング×2、排気弁×2、オイルレベルゲージ×1、スパイダー×1、ベアリング付きサイドカバー×1、オイルシールHTC-11-25-7×1、オイルシールSC-12-25-7×1、OリングS-15×1、OリングS-29×1、OリングS-120.9×1、OリングP-8×1、OリングP-18×1

商品コード：

2500201725989

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GCD-051X●タイプ：A●パーツ内容：オイルシール、Ｏリング、排気弁●排気弁×2、排気弁スプリング×2、逆止弁×2、逆止弁スプリング×2、オイルシールHTC-11-25-7×1、オイルシールSC-12-25-7×1、オイルシールVC-12-22-4×1、オイルシールVC-10-20-4×1●OリングS-3×2、OリングS-5×1、OリングS-12×2、OリングS-20×1、OリングS-29×1、OリングS-46×1、OリングS-55×1、OリングP-10×1、OリングP-12×1、OリングP-20×1、OリングP-24×1、OリングP-34×1、OリングG-55×1、OリングV-150×1、OリングN-28×2

商品コード：

2500201748292

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GCD-051X●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●第1ベーン×2、ベーンスプリング×3、第2ベーン×2、スパイダー×1、軸受A×1、軸受×E、軸受D×1

商品コード：

2500201748308

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GCD-136X●タイプ：A●パーツ内容：オイルシール、Ｏリング、排気弁●排気弁×2、排気弁スプリング×2、逆止弁×2、逆止弁スプリング×2、オイルシールHTC-17-40-9×1、オイルシールSC-17-30-7×2、オイルシールSC-15-30-7×1●OリングP-6×1、OリングP-7×1、OリングP-12×2、OリングP-20×1、OリングP-34×1、OリングP-35×1、OリングS-10×1、OリングS-12×1、OリングS-16×2、OリングS-20×1、OリングS-30×2、OリングS-45×1、OリングS-70×4、OリングG-55×1、OリングV-175×1、OリングJASO3056×1、OリングN-28×2

商品コード：

2500201748315

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GCD-136X●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●第1ベーン×2、第2ベーン×2、ベーンスプリング×5、チューブ×1、スパイダー×1、軸受A×1、軸受B×1、軸受D×1、スリーブSN1/8×2

商品コード：

2500201748322

●小さいサイズながらも、大きな排気速度です。●装置組込みに適したコンパクトサイズです。●マグネットカップリング構造により、軸シールからの油漏れが無く、長寿命化を実現しました。●吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放します。●電源コード差込口インレットによる、電源コードの多様化へ対応しました。●強制給油機構の搭載により、排気速度が安定します。●大気圧からの作動が可能です。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。●真空乾燥器、凍結乾燥器。●リークディテクタ。●排気速度(L/min)50/60Hz：30/36●到達圧力(Pa)：0.67●吸気口径(mm)：KF-16●電源(V)：単相100-120●全幅(mm)：120●全長(mm)：288.5●全高(mm)：163●サーマルプロテクタ付：○●使用油：R-2●電源コード長さ(m)：2.0●2段排気方式●CEマーキング自己宣言品●TUV、cTUVus認証取得品●一台から異電圧に別作対応●真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。●排気口からの油煙(オイルミスト)が大気圧付近では特に発生します。●排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲージが飛び出したり、モータが過負荷になる恐れがあります。●このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。

商品コード：

2500201759816

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GHD-031、GHD-031A、GHD-031B●タイプ：A●パーツ内容：オイルシール、Ｏリング、排気弁●排気弁×2、排気弁スプリング×2、大気開放弁×1、大気開放弁スプリング×1、逆止弁×1、楕円リング×1、大気開放ルートOリング×1、Oリング(S-12)×1、Oリング(S-56)×1、Oリング(S-60)×1、Oリング(ケーシング)×1、Oリング(P-5)×1、Oリング(P-8)×1、Oリング(P-9)×2、Oリング(P12.5)×1、Oリング(P-18)×1、Oリング(P-20)×1、Oリング(G-50)×1、Oリング(SS040)×1、Oリング(SS110)×1、オイルシール(VC-10-20-4)×1、オイルシール(SC-11-25-7)×1

商品コード：

2500201759823

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GHD-031、GHD-031A、GHD-031B●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●第1ベーン×2、第2ベーン×2、オイルポンプベーン×1、インナーカップリング×1、オイルレベルゲージ×1

商品コード：

2500201759830

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GHD-101A、GHD-101B、GHD-101C、GHD-101D●タイプ：A●パーツ内容：オイルシール、Ｏリング、排気弁●排気弁×2、排気弁スプリング×2、大気開放弁スプリング×1、逆止弁×1、Oリング(S-20)×1、Oリング(S-32)×1、Oリング(S-6)×3、Oリング(S-53)×1、Oリング(S-7)×1、Oリング(S-16)×1、Oリング(S-71)×2、Oリング(ケーシング)×1、Oリング(P-24)×1、Oリング(P-12)×1、Oリング(P-8)×1、Oリング(P-9)×2、Oリング(P-12.5)×2、Oリング(P-5)×1、Oリング(P-20)×1、Oリング(SS110)×1、Oリング(SS040)×1、Oリング(N-28)×1、オイルシール(SC13-25-7)×1、オイルシール(VC12-22-4)×1

商品コード：

2500201759847

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GHD-101A、GHD-101B、GHD-101C、GHD-101D●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●第1ベーン×2、第2ベーン×2、オイルレベルゲージ×1

商品コード：

2500201759854

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。

商品コード：

2500203868226

●DTC-41/DTC-41K用の排気弁Ｂです。●適合機種：DTC-41/DTC-41K

商品コード：

2500204402788

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DA-15D、DA-30S、DA-30D、DA-60S、DA-41D、DA-81SDA-60D、DA-120S、DAP-15、DAP-30、DAU-20、DTU-20、DTC-22、DTC-41、DTC-60●M4

商品コード：

2500204497142

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DAT-50D、DAT-100S、DA-121D、DA-241S、DAL-181D、DAL-361S、DTC-120、GLD-040、GLD-051、GLS-051、GCD-051X●M5

商品コード：

2500204497159

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DOP-40D、DOP-80S、DOP-80SP●M5

商品コード：

2500204497166

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DAT-50D、DAT-100S、DA-121D、DA-241S、DAL-181D、DAL-361S、DTC-120、GHD-101、GLD-040、GLD-051、GLS-051、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA、GLD-202BB、GLD-280A、GCD-051X、GCD-136X、GCD-201X●M5

商品コード：

2500204497210

●油回転真空ポンプの性能を最大限に引き出す専用オイルです。●ポンプ油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。●寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。●潤滑、冷却、シールを目的とした油回転真空ポンプ専用オイル。●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお勧めします。●最大寸法：1L缶●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお薦めします。

商品コード：

2500204743003

●油回転真空ポンプの性能を最大限に引き出す専用オイルです。●ポンプ油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。●寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。●潤滑、冷却、シールを目的とした油回転真空ポンプ専用オイル。●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお勧めします。●最大寸法：4L缶●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお薦めします。

商品コード：

2500204743010