真空ポンプ

●ロータリーポンプのオイル逆拡散を捕捉します。●オイルミストに対して99.7％の卓越した吸着特性を発揮します。●飽和に達するまでの寿命が極めて長く、吸着剤を含むバスケットを250℃～300℃で2時間加熱すると再生します。●本体はアルミニウム製で、吸着剤が入った着脱式バスケットが付属しています。●ロータリーポンプの油煙の捕集。●適合機種：RVシリーズ、E2Mシリーズ

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2500200929463

●クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました。●52ｄB(A)未満の静音性です。●最長5年の整備間隔により所有コストを低減します。●ユーザーによるチップシールの交換が可能です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置。●排気速度(L/min)50/60Hz：190●到達圧力(Pa)：0.7●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：432●全長(mm)：265●全高(mm)：302.3●騒音値(dB)：52●寸法(mm)：432×265×302.3●吸気口径：NW25●一台から異電圧に別作対応●電源ケーブルは付属していません。

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2500200945289

●クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました。●52ｄB(A)未満の静音性です。●最長5年の整備間隔により所有コストを低減します。●ユーザーによるチップシールの交換が可能です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置。●排気速度(L/min)50/60Hz：252●到達圧力(Pa)：0.7●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：432●全長(mm)：265●全高(mm)：302.3●騒音値(dB)：52●寸法(mm)：432×265×302.3●吸気口径：NW25●一台から異電圧に別作対応●電源ケーブルは付属していません。

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2500200945319

●真空配管部品●フランジサイズ：NW16●A(mm)：30●B(mm)：17.2●C(mm)：6●D(mm)：2.5●NW16用、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292818

●真空配管部品●フランジサイズ：NW16●A(mm)：17●B(mm)：3.9●C(mm)：8●NW16用、ニトリル/ステンレス●ニトリル●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292825

●真空配管部品●フランジサイズ：NW10/16●A(mm)：44●B(mm)：46●C(mm)：34●NW10/16用、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292832

●真空配管部品●フランジサイズ：NW10/16●A(mm)：62●B(mm)：40●C(mm)：35●NW10/16用、アルミニウム●アルミニウム

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2500201292849

●真空配管部品●フランジサイズ：NW25●A(mm)：26.2●B(mm)：1000●C(mm)：50●D(mm)：210●最小曲半径(mm)：210(可動)●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292856

●真空配管部品●フランジサイズ：NW25●A(mm)：40●B(mm)：26.2●C(mm)：6●D(mm)：2.5●NW25用、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292863

●真空配管部品●フランジサイズ：NW25●A(mm)：26●B(mm)：3.9●C(mm)：8●NW25用、ニトリル/ステンレス●ニトリル●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292870

●真空配管部品●フランジサイズ：NW25●A(mm)：60●B(mm)：60●C(mm)：48●NW25用、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292887

●真空配管部品●フランジサイズ：NW25●A(mm)：75●B(mm)：50●C(mm)：35●NW25用、アルミニウム●アルミニウム

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2500201292894

●真空配管部品●フランジサイズ：NW25●A(mm)：50●NW25用、角度90度、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292900

●真空配管部品●フランジサイズ：NW25●A(mm)：50●B(mm)：100●NW25用、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292917

●真空配管部品●フランジサイズ：NW25/10●A(mm)：10●B(mm)：40●NW25/10用、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292924

●真空配管部品●フランジサイズ：NW25/16●A(mm)：16●B(mm)：28●NW25/16用、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292931

●真空配管部品●フランジサイズ：NW40●A(mm)：55●B(mm)：41.2●C(mm)：6●D(mm)：2.5●NW40用、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292948

●真空配管部品●フランジサイズ：NW40●A(mm)：41●B(mm)：3.9●C(mm)：8●NW40用、ニトリル/ステンレス●ニトリル●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292955

●真空配管部品●フランジサイズ：NW40●A(mm)：73●B(mm)：75●C(mm)：63●NW40用、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292962

●真空配管部品●フランジサイズ：NW40●A(mm)：65●NW40用、角度90度、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292979

●真空配管部品●フランジサイズ：NW40●A(mm)：65●B(mm)：130●NW40用、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292986

●真空配管部品●フランジサイズ：NW40●A(mm)：130●NW40用、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201292993

●真空配管部品●フランジサイズ：NW40/25●A(mm)：24●B(mm)：28●NW40/25用、ステンレス●ステンレス(AISI316L/SUS316L)

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2500201293006

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAT-100S●ダイアフラム×2、ポンプヘッドガスケット×2、吸排気弁×6、エアーフィルタ×3

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2500201451024

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：50/55●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：150●全長(mm)：232●全高(mm)：305●寸法(mm)：150×232×305●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：3.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●最大寸法(mm)：150(W)×232(L)×305(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201451062

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAT-50D●ダイアフラム×2、ポンプヘッドガスケット×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×2

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2500201451079

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAU-100●ダイアフラム×4、バルブ×12、ヘッドガスケット×4、Oリング(P-18)×1、Oリング(P-10)×7、弁板×1

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2500201451123

●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。●ロードロック室排気。●吸着搬送、ハンドリング。●レーザーガス循環・排気用。●真空乾燥装置、連結真空乾燥装置●排気速度(L/min)50/60Hz：20/23●到達圧力(Pa)：200●吸気口径(mm)：10●電源(V)：単相100●全幅(mm)：161●全長(mm)：327●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●3段排気方式●接ガス部耐食性●一台から異電圧に別作対応●到達圧力(KPa)：0.2●吸排気管径(mm)：O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)●最大寸法(mm)：161(W)×327(L)×218(H)●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201451130

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAU-20●ダイアフラム×4、バルブ×6、バルブ穴あり×2

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2500201451147

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するカップパッキン、ガスケット、排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DOP-150T●セット内容：カップパッキン×4、ガスケット×4、吸気弁干渉防止ゴム×4、吸排気弁×12、排気弁バックアップ×4、ナイロンチューブ×1、吸気弁バックアップ×4

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2500201495943

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するカップパッキン、ガスケット、排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DOP-181SA、DOP-181SB、DOP-181SC、DOP-181SD、DOP-181SE●セット内容：カップパッキン×2、Oリング×4、ガスケット×2、吸排気弁×2、シリンダ用ガスケット×2

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2500201495950

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するカップパッキン、ガスケット、排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DOP-200S●セット内容：カップパッキン×4、ガスケット×4、吸気弁干渉防止ゴム×4、吸排気弁×12、排気弁バックアップ×4、ナイロンチューブ×1、吸気弁バックアップ×4

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2500201495967

●接ガス部に油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。●大排気量でコンパクトサイズです。●大気圧から作動が可能です。●自動機などの真空吸着搬送。●真空包装、印刷機械。●吸引機。●チップマウンター。●排気速度(L/min)50/60Hz：300/330●到達圧力(Pa)：8.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：16●電源(V)：三相200-230●全幅(mm)：315●全長(mm)：443●全高(mm)：231●電源コード長さ(m)：なし●1段式排気方式●CE自己宣言品●TUV認証取得品●cTUVus認証取得品●排気速度(l/min)50/60Hz：300/330●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。

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2500201495981

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するカップパッキン、ガスケット、排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DOP-300S、DOP-300SA、DOP-301SB●セット内容：カップパッキン×4、ガスケット×4、吸気弁干渉防止ゴム×4、吸排気弁×12、排気弁バックアップ×4、ナイロンチューブ×1、吸気弁バックアップ×4

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2500201495998

●接ガス部に油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。●大排気量でコンパクトサイズです。●大気圧から作動が可能です。●自動機などの真空吸着搬送。●真空包装、印刷機械。●吸引機。●チップマウンター。●排気速度(L/min)50/60Hz：400/440●到達圧力(Pa)：12.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：16●電源(V)：三相200-220●全幅(mm)：316●全長(mm)：434●全高(mm)：231●電源コード長さ(m)：なし●1段式排気方式●CE自己宣言品●TUV認証取得品●cTUVus認証取得品●排気速度(l/min)50/60Hz：400/440●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。

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2500201496001

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するカップパッキン、ガスケット、排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DOP-400SB●セット内容：カップパッキン×4、Oリング(JASO1017)×8、メガネガスケット×4、バルブA×4、バルブ押えA×4、バルブD×4

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2500201496018

●カップパッキン(特殊樹脂)がシリンダ内を往復運動することにより排気する真空ポンプです。●接ガス部には油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。●加圧専用タイプもあります。●真空チャック、真空ピンセット。●食品包装機、真空成型機。●吸着搬送。●自動機等の真空吸着搬送。●真空包装、印刷機械。●吸引機。●チップマウンター。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/44●到達圧力(Pa)：1.2×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：160●全長(mm)：270●全高(mm)：179●寸法(mm)：160×270×179●2段式排気方式●一台から異電圧に別作対応●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201496025

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するカップパッキン、ガスケット、排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DOP-40D●セット内容：カップパッキン×2、吸排気弁(吸気)×2、吸排気弁(排気)×2、Oリング(S-67)×2、ガスケット×2、Oリング(P-10)×2

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2500201496032

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するカップパッキン、ガスケット、排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DOP-50S4●セット内容：カップパッキン×4、ガスケット×4、吸気弁干渉防止ゴム×4、吸排気弁(吸気)×4、吸排気弁(排気)×4、排気弁バックアップ×4、吸気弁バックアップ×4

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2500201496056

●カップパッキン(特殊樹脂)がシリンダ内を往復運動することにより排気する真空ポンプです。●接ガス部には油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。●加圧専用タイプもあります。●真空チャック、真空ピンセット。●食品包装機、真空成型機。●吸着搬送。●自動機等の真空吸着搬送。●真空包装、印刷機械。●吸引機。●チップマウンター。●排気速度(L/min)50/60Hz：80/88●到達圧力(Pa)：5.33×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：160●全長(mm)：270●全高(mm)：179●電源コード長さ(m)：0.14●1段式排気方式●一台から異電圧に別作対応●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201496063

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するカップパッキン、ガスケット、排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DOP-80S●セット内容：カップパッキン×2、吸排気弁(吸気)×2、吸排気弁(排気)×2、Oリング(S-67)×2、ガスケット×2、Oリング(P-10)×4

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2500201496070

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するカップパッキン、ガスケット、排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DOP-80SP●セット内容：カップパッキン×2、吸排気弁(吸気)×2、吸排気弁(排気)×2、Oリング(S-67)×2、ガスケット×2、Oリング(P-10)×4

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2500201496087

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-150●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

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2500201510547

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-151●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

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2500201510554

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-250、DSB-251●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

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2500201510615

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-450●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

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2500201510653

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-451●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

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2500201510660

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-600、DSB-601●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

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2500201510707

●メカニカルブースター真空ポンプ用のギア油です。●極圧材を配合することで高速回転にも使用できます。●ギア潤滑油●粘度40℃([[mm2]]/s)：83.0●引火点(℃)：250以上●蒸気圧Pa(Torr)：1.3×10[[の-3乗]]以下(1×10[[の-5乗]]以下)●容量(L)：18●引火点：250℃以上●蒸気圧(50℃)：1.3×10[[の-3乗]]Pa以下(1×10[[の-5乗]]Torr以下)●火気厳禁

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2500201571265

●小さいサイズながらも、大きな排気速度です。●装置組込みに適したコンパクトサイズです。●マグネットカップリング構造により、軸シールからの油漏れが無く、長寿命化を実現しました。●吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放します。●電源コード差込口インレットによる、電源コードの多様化へ対応しました。●強制給油機構の搭載により、排気速度が安定します。●大気圧からの作動が可能です。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。●真空乾燥器、凍結乾燥器。●リークディテクタ。●排気速度(L/min)50/60Hz：30/36●到達圧力(Pa)：0.67●吸気口径(mm)：KF-16●電源(V)：単相100-120●全幅(mm)：120●全長(mm)：288.5●全高(mm)：163●サーマルプロテクタ付：○●使用油：R-2●電源コード長さ(m)：2.0●2段排気方式●CEマーキング自己宣言品●TUV、cTUVus認証取得品●一台から異電圧に別作対応●真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。●排気口からの油煙(オイルミスト)が大気圧付近では特に発生します。●排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲージが飛び出したり、モータが過負荷になる恐れがあります。●このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。

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2500201759816