真空ポンプ

●メカニカルブースター真空ポンプ用のギア油です。●極圧材を配合することで高速回転にも使用できます。●ギア潤滑油●粘度40℃([[mm2]]/s)：83.0●引火点(℃)：250以上●蒸気圧Pa(Torr)：1.3×10[[の-3乗]]以下(1×10[[の-5乗]]以下)●容量(L)：18●引火点：250℃以上●蒸気圧(50℃)：1.3×10[[の-3乗]]Pa以下(1×10[[の-5乗]]Torr以下)●火気厳禁

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2500201571265

●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●排気速度(L/min)50/60Hz：50/60●到達圧力(Pa)：1.3●吸気口径(mm)：18●電源(V)：単相100●全幅(mm)：156●全長(mm)：341●全高(mm)：199.5●使用油：SMR-100●電源コード長さ(m)：2.0●一台から異電圧に別作対応●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。

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2500201733229

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-50DA●パーツ内容：オイルシール、Oリング、排気弁、ベーン●第1ベーン×2、ベーンスプリング×3、第2ベーン×2、排気弁×4、オイルレベルゲージ×1、スパイダー×1、オイルシールHTC-11-25-7×1、オイルシールSC-12-25-7×1、OリングS-15×1、OリングS-29×1、OリングS-120.9×1、OリングP-8×1、OリングP-18×1

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2500201733236

●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●排気速度(L/min)50/60Hz：50/60●到達圧力(Pa)：9.3●吸気口径(mm)：18●電源(V)：単相100●全幅(mm)：156●全長(mm)：341●全高(mm)：199.5●サーマルプロテクタ付：付●使用油：SMR-100●電源コード長さ(m)：2.0●一台から異電圧に別作対応●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。

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2500201733380

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-50SA●パーツ内容：オイルシール、Oリング、排気弁、ベーン●ベーン×2、ベーンスプリング×2、排気弁×2、排気弁スプリング×2、オイルレベルゲージ×1、スパイダー×1、ベアリング6900×1、オイルシールHTC-11-25-7×1、オイルシールVC-10-20-4×1、オイルシールSC-12-25-7×1●OリングS-4×1、OリングS-15×1、OリングS-18×1、OリングS-29×1、OリングS-120.9×1、OリングP-8×1、OリングP-18×1

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2500201733397

●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●2段式は2回の吸入圧縮排気により1段式より良い真空が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●排気速度(L/min)50/60Hz：5/6●到達圧力(Pa)：6.7●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：130●全長(mm)：203●全高(mm)：159.5●使用油：SMR-100●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応●排気速度50/60Hz(L/min)：5/6●吸気管径(mm)：O.D.φ12×I.D.φ6●最大寸法(mm)：130(W)×203(L)×159.5(H)●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。

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2500201734189

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-5DA●パーツ内容：オイルシール、Oリング、排気弁、ベーン●ベーン×4、ベーンスプリング×2、排気弁×2、カップリング×1、オイルレベルゲージ×1、オイルシールHTC-9-22-7×1、オイルシールVC-10-20-4×1、OリングS-9×1、OリングP-6×1、OリングP-18×1、OリングS-101.1×1

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2500201734196

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-5●パーツ内容：オイルシール、Oリング、排気弁、ベーン●ベーン×2、平行ピン×1、排気弁×1、カップリング×1、ケーシングガスケット×1、シリンダーガスケット×1、オイルシールHTC-8-18-7×1、OリングS-16×1、OリングS-36×1、OリングP-6×2、OリングP-14×1

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2500201734202

●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●排気速度(L/min)50/60Hz：5/6●到達圧力(Pa)：100●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：130●全長(mm)：203●全高(mm)：159.5●サーマルプロテクタ付：付●使用油：SMR-100●吸気口径：12●電源コード長さ(m)：2.0●一台から異電圧に別作対応(G-5SAは除く)

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2500201734219

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：55/65●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：431●全高(mm)：225●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度55L/min(50Hz)65L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

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2500200944077

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：85/103●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：431●全高(mm)：225●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度85L/min(50Hz)103L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

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2500200944084

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：142/167●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：471●全高(mm)：261●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度142L/min(50Hz)167L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

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2500200944091

●オイルの逆流防止機構付です。●低振動、低ノイズです。●ガスバラスト付です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置､真空冶金など。●排気速度(L/min)50/60Hz：200/237●到達圧力(Pa)：0.2●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：158●全長(mm)：491●全高(mm)：261●騒音値(dB)：48●使用油：ウルトラグレード19●排気速度200L/min(50Hz)237L/min(60Hz)、2ステージ、ガスバラスト付●アルミニウム●鋳鉄●電源ケーブルは付属していません。

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2500200944107

●クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました。●52ｄB(A)未満の静音性です。●最長5年の整備間隔により所有コストを低減します。●ユーザーによるチップシールの交換が可能です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置。●排気速度(L/min)50/60Hz：190●到達圧力(Pa)：0.7●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：432●全長(mm)：265●全高(mm)：302.3●騒音値(dB)：52●寸法(mm)：432×265×302.3●吸気口径：NW25●一台から異電圧に別作対応●電源ケーブルは付属していません。

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2500200945289

●クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました。●52ｄB(A)未満の静音性です。●最長5年の整備間隔により所有コストを低減します。●ユーザーによるチップシールの交換が可能です。●分析装置､半導体装置､各種実験装置。●排気速度(L/min)50/60Hz：252●到達圧力(Pa)：0.7●吸気口径(mm)：NW25●電源(V)：単相100/200●全幅(mm)：432●全長(mm)：265●全高(mm)：302.3●騒音値(dB)：52●寸法(mm)：432×265×302.3●吸気口径：NW25●一台から異電圧に別作対応●電源ケーブルは付属していません。

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2500200945319

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：30/36●到達圧力(Pa)：6.70×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：212●全長(mm)：278●全高(mm)：224.5●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201448055

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-30D、DA-60S●ダイアフラム×2、ヘッドガスケット×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×4

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2500201448062

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：24/30●到達圧力(Pa)：26.6×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：132●全長(mm)：203●全高(mm)：182.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポンプ寿命を縮めます。

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2500201448079

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：19.9×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：128●全長(mm)：242●全高(mm)：178.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201448345

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：157●全長(mm)：336.5●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：3.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ9×I.D.φ6(G1/4)●最大寸法(mm)：157(W)×336.5(L)×217(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす

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2500201448369

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-41D、DA-41DK●ダイアフラム×2、バルブA×3、バルブB×1、バルブ押えA×2、バルブ押えB×1、吸排気フィルタ×2、Oリング(S-28)×6、Oリング(P-10A)×2、Oリング(S-4)×2

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2500201448376

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：140●全長(mm)：288●全高(mm)：202●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：13.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ12×I.D.φ8(G1/4)●最大寸法(mm)：140(W)×288(L)×202(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201448383

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：60/72●到達圧力(Pa)：3.32×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相100●全幅(mm)：156●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●寸法(mm)：156×358×238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポ

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2500201448604

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-60D、DA-120S、DAH-60●ダイアフラム×2、吸排気弁×16、エアーフィルタ×2、ポンプヘッドカバーガスケット×2

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2500201448611

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：60/72●到達圧力(Pa)：21.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：212●全長(mm)：278●全高(mm)：224.5●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201448628

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：75/85●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：181●全長(mm)：336.5●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす

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2500201448758

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-81S、DA-81SK●ダイアフラム×2、バルブA×2、バルブB×2、バルブ押えA×2、バルブ押えB×2、吸排気フィルタ×3、Oリング(S-28)×6、Oリング(P-10A)×2、Oリング(S-4)×2

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2500201448765

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：75/85●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：153●全長(mm)：288●全高(mm)：202●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201448772

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAL-181D●ダイアフラム×4、排気フィルタ×4、バルブA×6、バルブ押えA×4、バルブC×2、バルブ押えB×4、Oリング(P-48)×8、Oリング(P-18)×11

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2500201449366

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAL-361S●ダイアフラム×4、吸気フィルタ×2、排気フィルタ×4、バルブA×4、バルブ押えA×4、バルブC×4、バルブ押えB×4、Oリング(P-48)×8、Oリング(P-18)×11

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2500201449380

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：12/24●到達圧力(Pa)：24.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：Rc1/8●電源(V)：単相100●全幅(mm)：91●全長(mm)：163●全高(mm)：100.6●電源コード長さ(m)：2●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500201449519

●減圧、加圧両用のダイアフラム型ポンプです。●吸気口に配管すれば真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。●加圧圧力は150kPaです。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：15/18●到達圧力(Pa)：39.9×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：115●全長(mm)：178.5●全高(mm)：153.5●電源コード長さ(m)：2●減圧・加圧両用●加圧圧力：150kPa●1段排気方式●加圧圧力(ゲージ圧)(MPa)：0.15●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●加圧で使用する場合は、0.15Mpa以下でご使用

商品コード：

2500201449540

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAP-15●ダイアフラム×1、吸排気弁×2、エアーフィルタ×2、ヘッドガスケット×1

商品コード：

2500201449564

●減圧、加圧両用のダイアフラム型ポンプです。●吸気口に配管すれば真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。●加圧圧力は150kPaです。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：30/36●到達圧力(Pa)：33.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：142●全長(mm)：215.0●全高(mm)：180●電源コード長さ(m)：2●減圧・加圧両用●加圧圧力：150kPa●1段排気方式●一台から異電圧に別作対応●加圧圧力(ゲージ圧)(MPa)：0.15●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●加圧で使用する場合は、0.15Mpa以下でご使用下さい。

商品コード：

2500201449571

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAP-30●ダイアフラム×1、ヘッドガスケット×1、吸排気弁×2、エアーフィルタ×2、Oリング(P-10)×2

商品コード：

2500201449588

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：6/7●到達圧力(Pa)：6.65×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：Rc1/8●電源(V)：単相100●全幅(mm)：91●全長(mm)：163●全高(mm)：100.6●電源コード長さ(m)：2●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。

商品コード：

2500201449595

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAP-6D、DAP-12S、DAP-9D、DAP-18S●ダイアフラム×2、バルブ×4、ヘッドガスケット×2

商品コード：

2500201449601

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAT-100S●ダイアフラム×2、ポンプヘッドガスケット×2、吸排気弁×6、エアーフィルタ×3

商品コード：

2500201451024

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：50/55●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：150●全長(mm)：232●全高(mm)：305●寸法(mm)：150×232×305●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa)：3.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●最大寸法(mm)：150(W)×232(L)×305(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201451062

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAT-50D●ダイアフラム×2、ポンプヘッドガスケット×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×2

商品コード：

2500201451079

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAU-100●ダイアフラム×4、バルブ×12、ヘッドガスケット×4、Oリング(P-18)×1、Oリング(P-10)×7、弁板×1

商品コード：

2500201451123

●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。●ロードロック室排気。●吸着搬送、ハンドリング。●レーザーガス循環・排気用。●真空乾燥装置、連結真空乾燥装置●排気速度(L/min)50/60Hz：20/23●到達圧力(Pa)：200●吸気口径(mm)：10●電源(V)：単相100●全幅(mm)：161●全長(mm)：327●全高(mm)：217●電源コード長さ(m)：1.8●3段排気方式●接ガス部耐食性●一台から異電圧に別作対応●到達圧力(KPa)：0.2●吸排気管径(mm)：O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)●最大寸法(mm)：161(W)×327(L)×218(H)●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201451130

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAU-20●ダイアフラム×4、バルブ×6、バルブ穴あり×2

商品コード：

2500201451147

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-150●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510547

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-151●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510554

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-250、DSB-251●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510615

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-450●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510653

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-451●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510660

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DSB-600、DSB-601●セット内容：ベーン(7枚入)×1、フィルタエレメント×1、ハウジングガスケット×1

商品コード：

2500201510707

●合成系油拡散ポンプ油です。●油拡散ポンプ油●粘度40℃([[ＭＭ2]]/s)：22.0●密度15℃(g/[[ＣＭ3]])：0.936●引火点(℃)：235●蒸気圧Pa(Torr)：7×10[[の-6乗]]以下(5×10[[の-8乗]]以下)●容量(L)：1●引火点：235℃●蒸気圧：7×10[[の-6乗]]Pa以下(5×10[[の-8乗]]Torr以下)●火気厳禁

商品コード：

2500202992472