トラスコ中山 ULVAC DAP－6D単相200V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 排気速度6／7 195-3693 (ご注文単位1台) 【直送品】

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：6/7●到達圧力(Pa)：6.65×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：Rc1/8●電源(V)：単相200●全幅(mm)：91●全長(mm)：163●全高(mm)：100.6●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。●ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。