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●接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです｡●化学工業､半導体業界などで使用する特殊なガス､溶剤を扱う真空引きに最適な､耐久性を増したポンプです｡●濃縮機などの化学機器。●半導体製造装置。●製薬機械。●薬品処理後の乾燥。●真空乾燥機、連結乾燥機。
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