●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-100D(モーター1φ用)●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●ベーンスプリング×8、第1ベーン×2、第2ベーン×2、オイルレベルゲージ×1、ベアリング6203×1、ベアリング6002×1、スリーブSN1/8×2、カップリング(φ16×φ16)×1、中間ピン×4

商品コード：

2500201720205

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-100S、101S(モーター1φ用)●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●ベーンスプリング×4、ベーン×2、オイルレベルゲージ×1、ベアリング6203×1、ベアリング6002×1、カップリング(φ16×φ16)×1、中間ピン×2

商品コード：

2500201720281

●適合機種：DA-60D/DA-120S

商品コード：

2500204139325

●油回転真空ポンプの性能を最大限に引き出す専用オイルです。●ポンプ油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。●寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。●潤滑、冷却、シールを目的とした油回転真空ポンプ専用オイル。●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお勧めします。●適合機種：GHD●容量：4L缶●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお薦めします。

商品コード：

2500204630044

●接ガス部に油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。●大排気量でコンパクトサイズです。●大気圧から作動が可能です。●自動機などの真空吸着搬送。●真空包装、印刷機械。●吸引機。●チップマウンター。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/140●到達圧力(Pa)：8.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：メネジRc1/4●電源(V)：三相200-220●全幅(mm)：139.5●全長(mm)：255●全高(mm)：167●1段式排気方式●CE自己宣言品●TUV認証取得品●cTUVus認証取得品●負荷運転時にポンプを停止し、直後に再度運転する場合、再起動しない事があります。この場合はポンプ内部を大気圧に戻してください。●腐食性ガス･有機溶剤･液体及び凝縮性ガス(水蒸気等)は吸引しないでください。また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。●ポンプの摺動材であるカップパッキンは運転により磨耗し、磨耗粉が発生いたします。また、使用している摺動材は水分に弱いため、吸引した場合磨耗が促進され寿命が低下します。水分及び凝縮性ガス(水蒸気等)は吸引しないでください。●屋内専用のポンプです。雨や水のかかるような場所や屋外には設置しないでください。●ポンプを装置等に固定される際は、必ず防振ゴムを取り付けてください。防振ゴムの取付けネジサイズはM6×P1.0です。

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2500204159996

●油回転真空ポンプの性能を最大限に引き出す専用オイルです。●ポンプ油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。●寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。●潤滑、冷却、シールを目的とした油回転真空ポンプ専用オイル。●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお勧めします。●適合機種：GHD●容量：1L缶●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお薦めします。

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2500204625101

●油回転真空ポンプの性能を最大限に引き出す専用オイルです。●ポンプ油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。●寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。●潤滑、冷却、シールを目的とした油回転真空ポンプ専用オイル。●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお勧めします。●最大寸法：1L缶●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお薦めします。

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2500204743003

●油回転真空ポンプの性能を最大限に引き出す専用オイルです。●ポンプ油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。●寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。●潤滑、冷却、シールを目的とした油回転真空ポンプ専用オイル。●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお勧めします。●最大寸法：4L缶●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお薦めします。

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2500204743010

●油回転真空ポンプの排気側取付用部品です。●適合機種：G-20DA、G-50DA、G-50SA、GHD-031、GLS-051、GLD-051、GCD-051X●排気口径(mm)：KF-25●取付サイズ：G3/4●KF-25●PPS

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2500201603225

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/145●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：16●電源(V)：単相100●全幅(mm)：193.5●全長(mm)：411●全高(mm)：285●寸法(mm)：193.5×411×285●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●「DA-121D」「DA-241S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。

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2500201447577

●真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するカップパッキン、ガスケット、排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DOP-300S、DOP-300SA、DOP-301SB●セット内容：カップパッキン×4、ガスケット×4、吸気弁干渉防止ゴム×4、吸排気弁×12、排気弁バックアップ×4、ナイロンチューブ×1、吸気弁バックアップ×4

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2500201495998

●適合機種：DA-30D/DA-60S

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2500204139318

●適合機種：DA-20D/DA-40S

商品コード：

2500204139301

●適合機種：DAP-6D/DAP-12S/DAP-9D-DC24/DAP-18S-DC24

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2500204139332

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GLD-280、GLD-280A、GLD-280B●タイプ：A●パーツ内容：オイルシール、Ｏリング、排気弁●排気弁×4、排気弁スプリング×3、第2排気弁スプリング×1、逆止弁×2、逆止弁スプリング×2、オイルシールHTC-17-40-9×1、オイルシールSC-17-30-7×2、オイルシールSC-15-30-7×1●OリングP-12×1、OリングP-20×1、OリングP-35×1、OリングG-55×1、OリングS-5×4、OリングS-12×1、OリングS-16×2、OリングS-24×2、OリングS-45×1、OリングS-85×3、OリングISO_C1950G×1、OリングN-28×1

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2500201769075

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GLD-280、GLD-280A、GLD-280B●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●第1ベーン×2、第2ベーン×2、ベーンスプリング×7、スパイダー×1、ベーンスプリングピン×7

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2500201769082

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●排気速度(L/min)50/60Hz：75/85●到達圧力(Pa)：13.3×10(の3乗)●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相200●全幅(mm)：181●全長(mm)：336.5●全高(mm)：217●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用

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2500204110539

●真空ポンプの排気口径変更用の排気管オプション部品です。●適合機種：G-5、G-5DA、G-10DA、G-20DA、G-25SA、G-50DA、G-50SA、GHD-031、GLS-051、GLD-051、GCD-051X●φ15●真鍮＋メッキ

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2500204198537

●真空ポンプの排気口径変更用の排気管オプション部品です。●適合機種：G-5、G-5DA、G-10DA、G-20DA、G-25SA、G-50DA、G-50SA、GHD-031、GLS-051、GLD-051、GCD-051X●φ18●真鍮＋メッキ

商品コード：

2500204198544

●G-20DA、G-25SA、G-50DA、G-50SA、GLS-051、GLD-040、GLD-051用オイルシールです。●適合機種：G-20DA、G-25SA、G-50DA、G-50SA、GLS-051、GLD-040、GLD-051●HTC-11-25-7●NBR

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2500204579350

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：100/110●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅(mm)：150●全長(mm)：232●全高(mm)：305●寸法(mm)：150×232×305●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●高速高圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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2500204110706

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●適合機種：GHD-030、GHD-031、GHD-031A、GHD-031B●φ12●真鍮＋メッキ

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2500204767955

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●ホース口吸気管(φ9×Rc1/8) DAP-6D/12S対応

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2500204767962

●適合機種：DOP-300S/DOP-300SA/DOP-301SA/DOP-301SB/DOP-301SVB

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2500204100066

●適合機種：DOP-400SA/DOP-400SB

商品コード：

2500204100073

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-60D、DA-120S、DAH-60●ダイアフラム×2、吸排気弁×16、エアーフィルタ×2、ポンプヘッドカバーガスケット×2

商品コード：

2500201448611

●マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。●従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。●PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。●真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。●フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。●大気圧から高真空領域(1×10[[の5乗]]～1×10[[の-5乗]]Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)です。●有機EL・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に。●真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に。●ハイドロカーボン(油系)が多い雰囲気での測定に。●真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に。●真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に。●測定圧力範囲(Pa)：1×10[[の5乗]]～1×10[[の-5乗]]●測定子：SWT-25/SWP-25●取合いフランジ：NW25●電源電圧(V)：100～240●表示：デジタル・仮数部2桁/指数部1桁(LED表示)●レコーダー：0～10V/Log出力●外形寸法：48×70×96mm(表示機ISG1)/69×63×90mm(電離真空計ST200※ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ部)/φ40×51(ﾋﾟﾗﾆ真空計SWU10-R※ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ部)●測定子フィラメント・白金(Pt)●ST200-A●SWU10-R●ST200用測定子SWT-25●SWU10-R専用測定子SWP-25●SWU接続用ユニットケーブル0.5m●本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。●腐食性ガス(ハロゲンガス)雰囲気でのご使用の場合はご相談下さい。

商品コード：

2500202957501

●マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。●従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。●PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。●真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。●フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。●大気圧から高真空領域(1×10^+5～1×10^-8Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)です。●半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用に。●ンライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認に。●高真空・超高真空装置の圧力測定に。●測定圧力範囲(Pa)：1×10[[の5乗]]～1×10[[の-8乗]]●測定子：M-45(NW-25)/SWP-25●取合いフランジ：NW25●電源電圧(V)：100～240●表示：デジタル・仮数部2桁/指数部1桁(LED表示)●レコーダー：0～10V/Log出力●外形寸法：48×70×96mm(表示機ISG1)/69×63×90mm(電離真空計ST200※ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ部)/φ40×51(ﾋﾟﾗﾆ真空計SWU10-R※ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ部)●測定子フィラメント・白金(Pt)●SH200-A●SWU10-R●SH200用測定子M45●SWU10-R専用測定子SWP-25●SWU接続用ユニットケーブル0.5m●本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。

商品コード：

2500202837827

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/144●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相200●全幅(mm)：162●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447560

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-100S、G-101S(モーター3φ用)●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●ベーンスプリング×4、ベーン×2、オイルレベルゲージ×1、ベアリング6203×1、ベアリング6002×1、カップリング(φ14×φ16)×1、中間ピン×2

商品コード：

2500201720380

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●内径φ9×外径φ24適用ホース口：φ11、φ12●吸気口径：PT1/4×メス●真鍮＋メッキ

商品コード：

2500204006863

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：G-101D(モーター1φ用)●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●ベーンスプリング×8、第1ベーン×2、第2ベーン×2、オイルレベルゲージ×1、ベアリング6203×1、ベアリング6002×1、スリーブSN1/8×2、カップリング(φ14×φ16)×1、中間ピン×4

商品コード：

2500201720366

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GLD-135、GLD-136、GLD-136A、GLD-136C●タイプ：A●パーツ内容：オイルシール、Ｏリング、排気弁●OリングG-55×1、OリングJASO3056×1、OリングN-28×1、OリングP-6×1、OリングP-7×1、OリングP-12×2、OリングP-20×1、OリングP-35×1、OリングS-10×1、OリングS-12×1、OリングS-16×2、OリングS-20×1、OリングS-30×2、OリングS-45×1、OリングS-70×4、OリングV-175×1●オイルシールHTC-17-40-9×1、オイルシールSC-15-30-7×1、オイルシールSC-17-30-7×2、排気弁×2、排気弁スプリング×2、逆止弁×2、逆止弁スプリング×2

商品コード：

2500201768955

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GLD-135、GLD-136、GLD-136A、GLD-136C●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●第1ベーン×2、第2ベーン×2、ベーンスプリング×5、スパイダー×1、チューブ×1、スリーブ_SN1/8×2)

商品コード：

2500201768962

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GLD-200、GLD-201、GLD-201A、GLD-201B●タイプ：A●パーツ内容：オイルシール、Ｏリング、排気弁●OリングS-10×1、OリングS-12×1、OリングS-16×2、OリングS-20×1、OリングS-30×2、OリングS-45×1、OリングS-70×4、OリングP-6×1、OリングP-7×1、OリングP-12×2、OリングP-20×1、OリングP-35×1、OリングG-55×1、OリングJASO3056×1、OリングN-28×1、OリングV-175×1●オイルシールHTC-17-40-9×1、オイルシールSC-15-30-7×1、オイルシールSC-17-30-7×2、排気弁×4、排気弁スプリング×4、逆止弁×2、逆止弁スプリング×2

商品コード：

2500201769013

●油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：GLD-200、GLD-201、GLD-201A、GLD-201B●タイプ：B●パーツ内容：ベーン、ベーンスプリング●第1ベーン×2、第2ベーン×2、ベーンスプリング×7、スパイダー×1、チューブ×1、スリーブ_SN1/8×2)

商品コード：

2500201769020

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DA-15D、DA-30S、DA-30D、DA-60S、DA-41D、DA-81SDA-60D、DA-120S、DAP-15、DAP-30、DAU-20、DTU-20、DTC-22、DTC-41、DTC-60●M4

商品コード：

2500204497142

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●排気速度(L/min)50/60Hz：60/72●到達圧力(Pa)：21.3×10(の3乗)●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相200-220●全幅(mm)：212●全長(mm)：278●全高(mm)：224.5●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用

商品コード：

2500204110515

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DAT-50D、DAT-100S、DA-121D、DA-241S、DAL-181D、DAL-361S、DTC-120、GLD-040、GLD-051、GLS-051、GCD-051X●M5

商品コード：

2500204497159

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DAT-50D、DAT-100S、DA-121D、DA-241S、DAL-181D、DAL-361S、DTC-120、GHD-101、GLD-040、GLD-051、GLS-051、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA、GLD-202BB、GLD-280A、GCD-051X、GCD-136X、GCD-201X●M5

商品コード：

2500204497210

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DAP-6D、DAP-12S、DAP-9D、DAP-18S●ダイアフラム×2、バルブ×4、ヘッドガスケット×2

商品コード：

2500201449601

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DOP-40D、DOP-80S、DOP-80SP●M5

商品コード：

2500204497166

●オイルミストトラップ(OMT、OMI)取付用アダプタです。●G3/4オス×G1メス

商品コード：

2500203948072

●適合機種：DOP-40D/DOP-80S

商品コード：

2500204100080

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●□40アダプター(M20メネジ) ZDC+メッキ

商品コード：

2500203845753

●真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。●内径φ9×外径φ24適用ホース口：φ11、φ12●吸気口径：PT1/4×L20オス●真鍮＋メッキ

商品コード：

2500203974927

●適合機種：DA-15D/DA-30S

商品コード：

2500204139295

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：12/24●到達圧力(Pa)：24.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：Rc1/8●電源(V)：単相200●全幅(mm)：91●全長(mm)：163●全高(mm)：100.6●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。●ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500204110614

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：19.9×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相200●全幅(mm)：128●全長(mm)：242●全高(mm)：178.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。●ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500204110478

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：60/72●到達圧力(Pa)：3.32×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相200●全幅(mm)：156●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。●ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポ

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2500204110508